ALD இணைந்த குவார்ட்ஸ் பீடம்

VeTek செமிகண்டக்டர் ALD ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் பீடமானது, செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.குவார்ட்ஸ் படகு, இது வைத்திருக்க பயன்படுகிறதுசெதில். இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் பீடமானது ஒரு நிலையான வெப்பநிலையைப் பராமரிப்பதன் மூலம் சீரான படப் படிவை அடைய உதவுகிறது, இது குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை நேரடியாக பாதிக்கிறது. கூடுதலாக, குவார்ட்ஸ் பீடமானது செயல்முறை அறையில் வெப்பம் மற்றும் ஒளியின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் படிவு செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

ALD இணைந்த குவார்ட்ஸ் பீட பொருள் நன்மைகள்

உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: இணைந்த குவார்ட்ஸ் பீடத்தின் மென்மையாக்கல் புள்ளி சுமார் 1730°C வரை அதிகமாக உள்ளது, மேலும் இது 1100°C முதல் 1250°C வரையிலான உயர் வெப்பநிலைச் செயல்பாட்டை நீண்ட காலத்திற்குத் தாங்கும், மேலும் 1450°C வரையிலான தீவிர வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு வெளிப்படும். ஒரு குறுகிய காலத்திற்கு.

சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்புஹைட்ரோபுளோரிக் அமிலம் தவிர கிட்டத்தட்ட அனைத்து அமிலங்களுக்கும் உருகிய குவார்ட்ஸ் அதிக வேதியியல் செயலற்றது. அதன் அமில எதிர்ப்பு பீங்கான்களை விட 30 மடங்கு அதிகமாகவும், துருப்பிடிக்காத எஃகு விட 150 மடங்கு அதிகமாகவும் உள்ளது. இணைந்த குவார்ட்ஸ் அதிக வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக பொருந்தாது, இது சிக்கலான இரசாயன செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.

வெப்ப நிலைத்தன்மை: இணைந்த குவார்ட்ஸ் பீடப் பொருளின் முக்கிய அம்சம் வெப்ப விரிவாக்கத்தின் மிகக் குறைந்த குணகம் ஆகும். இதன் பொருள் இது வியத்தகு வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களை விரிசல் இல்லாமல் எளிதாகக் கையாளும். எடுத்துக்காட்டாக, உருகிய சிலிக்கா குவார்ட்ஸை விரைவாக 1100 டிகிரி செல்சியஸ் வரை சூடேற்றலாம் மற்றும் குளிர்ந்த நீரில் சேதமில்லாமல் நேரடியாக மூழ்கடிக்கலாம், இது அதிக அழுத்த உற்பத்தி நிலைமைகளில் முக்கிய அம்சமாகும்.

கடுமையான உற்பத்தி செயல்முறை: இணைக்கப்பட்ட சிலிக்கா பீடங்களின் உற்பத்தி செயல்முறை உயர் தரமான தரங்களை கண்டிப்பாக கடைபிடிக்கிறது. உற்பத்தி செயல்முறை சூடான உருவாக்கம் மற்றும் வெல்டிங் செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்துகிறது, அவை வழக்கமாக 10,000 கிளீன்ரூம் சூழலில் நிறைவு செய்யப்படுகின்றன. பின்னர், தயாரிப்பு தூய்மை மற்றும் உகந்த செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்காக, இணைந்த குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி பீடமானது அல்ட்ராப்யூர் நீர் (18 MΩ) மூலம் நன்கு சுத்தம் செய்யப்படுகிறது. ஒவ்வொரு முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பும் கடுமையாக ஆய்வு செய்யப்பட்டு, சுத்தம் செய்யப்பட்டு, 1,000 அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட கிளீன்ரூமில் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் உயர் தரத்தை பூர்த்தி செய்ய பேக்கேஜ் செய்யப்படுகிறது.

உயர் தூய்மை ஒளிபுகா சிலிக்கா குவார்ட்ஸ் பொருள்

VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal வெப்பம் மற்றும் ஒளியை திறம்பட தனிமைப்படுத்த உயர் தூய்மையான ஒளிபுகா குவார்ட்ஸ் பொருளைப் பயன்படுத்துகிறது. அதன் சிறந்த வெப்பக் கவசம் மற்றும் ஒளிக் கவச பண்புகள், செயல்முறை அறையில் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிக்க உதவுகிறது, இது மெல்லிய மற்றும் சீரான சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது.படம் படிவுசெதில் மேற்பரப்பில்.

பயன்பாட்டு புலங்கள்

இணைக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் பீடங்கள் அவற்றின் சிறந்த செயல்திறன் காரணமாக குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் பல துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இல்அணு அடுக்கு படிவு (ALD) செயல்முறை, இது திரைப்பட வளர்ச்சியின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை ஆதரிக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் முன்னேற்றத்தை உறுதி செய்கிறது. இல்குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு (LPCVD) செயல்முறை, உயர் தூய்மையான குவார்ட்ஸ் பீடத்தின் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் ஒளிக் கவசத் திறன் ஆகியவை மெல்லிய படலங்களின் சீரான படிவுக்கான உத்தரவாதத்தை அளிக்கிறது, இதன் மூலம் சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் மகசூலை மேம்படுத்துகிறது.

கூடுதலாக, பரவல் செதில் செயல்பாட்டில், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் உருகிய குவார்ட்ஸ் பீடத்தின் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை குறைக்கடத்தி பொருள் ஊக்கமருந்து செயல்முறையின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன. இந்த முக்கிய செயல்முறைகள் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் மின் செயல்திறனை தீர்மானிக்கின்றன, மேலும் இந்த செயல்முறைகளின் சிறந்த முடிவுகளை அடைவதில் உயர்தர ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் பொருட்கள் இன்றியமையாத பங்கு வகிக்கின்றன.

VeTek செமிகண்டக்டர் ALD ஃப்யூஸ்டு குவார்ட்ஸ் பீடஸ்டல் கடைகள்: