VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோக கூறுகளுக்கு பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிக்கவும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்தவும் இது உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பலவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
சீனாவில் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் சக் தயாரிப்புகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என, VeTek செமிகண்டக்டரின் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் சக் அதன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் ஈடுசெய்ய முடியாத பங்கை வகிக்கிறது. உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் சிலிக்கான் கார்பைடு ஷவர் ஹெட் தயாரிப்புகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். SiC ஷவர் ஹெட் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை, இரசாயன நிலைத்தன்மை, வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நல்ல வாயு விநியோக செயல்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது சீரான எரிவாயு விநியோகத்தை அடையலாம் மற்றும் படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தலாம். எனவே, இது பொதுவாக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) அல்லது உடல் நீராவி படிவு (PVD) செயல்முறைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் ஒரு தொழில்முறை சிலிக்கான் கார்பைடு சீல் ரிங் தயாரிப்பு உற்பத்தியாளர் மற்றும் தொழிற்சாலையாக, VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு சீல் ரிங் அதன் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, இயந்திர வலிமை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பரவலாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் CVD, PVD மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்ற எதிர்வினை வாயுக்களை உள்ளடக்கிய செயல்முறைகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய பொருள் தேர்வாகும். உங்கள் மேலதிக விசாரணைகள் வரவேற்கப்படுகின்றன.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் SiC பூசப்பட்ட செதில் வைத்திருப்பவர் தயாரிப்புகளின் தலைவர். SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்கான ஒரு செதில் வைத்திருப்பவர். இது ஒரு ஈடுசெய்ய முடியாத சாதனமாகும், இது செதில்களை உறுதிப்படுத்துகிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது. உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை எபி வேஃபர் ஹோல்டர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் தொழிற்சாலை. எபி வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் எபிடாக்ஸி செயல்முறைக்கான ஒரு வேஃபர் ஹோல்டர் ஆகும். செதில்களை நிலைப்படுத்தவும், எபிடாக்சியல் லேயரின் சீரான வளர்ச்சியை உறுதி செய்யவும் இது ஒரு முக்கிய கருவியாகும். இது MOCVD மற்றும் LPCVD போன்ற எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் ஈடுசெய்ய முடியாத சாதனம். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் ஒரு தொழில்முறை Aixtron Satellite Wafer Carrier தயாரிப்பு உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளராக, VeTek Semiconductor's Aixtron Satellite Wafer Carrier என்பது AIXTRON உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு செதில் கேரியர் ஆகும், இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் MOCVD செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் துல்லியத்திற்கு ஏற்றது. குறைக்கடத்தி செயலாக்க செயல்முறைகள். MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது கேரியர் நிலையான செதில் ஆதரவையும் சீரான படப் படிவையும் வழங்க முடியும், இது அடுக்கு படிவு செயல்முறைக்கு அவசியம். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு