SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் ஹோல்டர்

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் வேஃபர் ஹோல்டர் பொதுவாக குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது செதில்களை சரிசெய்யவும் ஆதரிக்கவும் பயன்படுகிறது. இது ஒரு உயர் செயல்திறன்செதில் கேரியர்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைட்டின் (SiC) ஒரு அடுக்கை மேற்பரப்பில் பூசுவதன் மூலம்அடி மூலக்கூறு, தயாரிப்பு அடி மூலக்கூறை அரிப்பிலிருந்து திறம்பட தடுக்கிறது, மேலும் செதில் கேரியரின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையை மேம்படுத்துகிறது, செயலாக்க செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியமான தேவைகளை உறுதி செய்கிறது.

SiC கோடட் வேஃபர் ஹோல்டர்செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தின் போது செதில்களை சரிசெய்யவும் ஆதரிக்கவும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் கேரியர் ஆகும். ஒரு அடுக்கு பூச்சு மூலம்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில், தயாரிப்பு அடி மூலக்கூறை அரிப்பிலிருந்து திறம்பட தடுக்கிறது மற்றும் செதில் கேரியரின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையை மேம்படுத்துகிறது, செயலாக்க செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியமான தேவைகளை உறுதி செய்கிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) உருகுநிலை சுமார் 2,730°C மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் சுமார் 120-180 W/m·K உள்ளது. இந்த பண்பு உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் வெப்பத்தை விரைவாகச் சிதறடிக்கும் மற்றும் செதில் மற்றும் கேரியருக்கு இடையில் அதிக வெப்பத்தைத் தடுக்கும். எனவே, SiC கோடட் வேஃபர் ஹோல்டர் பொதுவாக சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டை அடி மூலக்கூறாகப் பயன்படுத்துகிறது.

SiC இன் மிக உயர்ந்த கடினத்தன்மையுடன் (சுமார் 2,500 HV இன் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை), CVD செயல்முறையால் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு ஒரு அடர்த்தியான மற்றும் வலுவான பாதுகாப்பு பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது, இது SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் ஹோல்டரின் உடைகள் எதிர்ப்பை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது. .

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் வேஃபர் ஹோல்டர் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டால் ஆனது மற்றும் நவீன செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத முக்கிய அங்கமாகும். இது புத்திசாலித்தனமாக கிராஃபைட்டின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் (அறை வெப்பநிலையில் வெப்ப கடத்துத்திறன் சுமார் 100-400 W/m·K) மற்றும் இயந்திர வலிமை மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் சிறந்த இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை (SiC இன் உருகுநிலை சுமார் 2,730°C), இன்றைய உயர்நிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் சூழலின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

இந்த ஒற்றை-செதில் வடிவமைப்பு வைத்திருப்பவர் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும்எபிடாக்சியல் செயல்முறைஅளவுருக்கள், இது உயர்தர, உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களை உருவாக்க உதவுகிறது. அதன் தனித்துவமான கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு முழு செயல்முறையிலும் செதில் மிகவும் கவனமாகவும் துல்லியமாகவும் கையாளப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் லேயரின் சிறந்த தரத்தை உறுதிசெய்து இறுதி குறைக்கடத்தி தயாரிப்பின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

சீனாவின் முன்னணியில்SiC பூசப்பட்டதுWafer Holder உற்பத்தியாளர் மற்றும் தலைவர், VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப சேவைகளை வழங்க முடியும்.சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக இருப்போம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

VeTek செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் வேஃபர் ஹோல்டர் தயாரிப்பு கடைகள்：