VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் உள்ள ஒரு முன்னணி தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர் சப்ளையர் ஆகும். நாங்கள் 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக மேம்பட்ட பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். SiC அடி மூலக்கூறை எடுத்துச் செல்வதற்காக, SiC எபிடாக்ஸி லேயரை SiC எபிடாக்சியல் ரியாக்டரில் வளர்ப்பதற்காக நாங்கள் Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier ஐ வழங்குகிறோம். இந்த சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சி வேஃபர் கேரியர் அரை நிலவு பகுதியின் முக்கியமான SiC பூசப்பட்ட பகுதி, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு. சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்.
தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, நாங்கள் உங்களுக்கு உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியரை வழங்க விரும்புகிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர்கள் குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் அறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அவை பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் பல்வேறு உபகரண மாதிரிகளுடன் இணக்கமாக உள்ளன.
விண்ணப்ப காட்சி:
VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர்கள் முதன்மையாக SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த துணைக்கருவிகள் SiC எபிடாக்ஸி அணுஉலைக்குள் வைக்கப்படுகின்றன, அங்கு அவை SiC அடி மூலக்கூறுகளுடன் நேரடியாக தொடர்பு கொள்கின்றன. எபிடாக்சியல் அடுக்குகளுக்கான முக்கியமான அளவுருக்கள் தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு சீரான தன்மை ஆகும். எனவே, ஃபிலிம் தடிமன், கேரியர் செறிவு, சீரான தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை போன்ற தரவைக் கவனிப்பதன் மூலம் எங்கள் துணைக்கருவிகளின் செயல்திறன் மற்றும் இணக்கத்தன்மையை மதிப்பிடுகிறோம்.
பயன்பாடு:
உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறையைப் பொறுத்து, எங்கள் தயாரிப்புகள் 6 அங்குல அரை நிலவு கட்டமைப்பில் குறைந்தபட்சம் 5000 um எபிடாக்சியல் லேயர் தடிமன் அடைய முடியும். இந்த மதிப்பு ஒரு குறிப்பாக செயல்படுகிறது, மேலும் உண்மையான முடிவுகள் மாறுபடலாம்.
இணக்கமான உபகரண மாதிரிகள்:
VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பாகங்கள் LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH மற்றும் பிற சாதனங்கள் உட்பட பல்வேறு உபகரண மாதிரிகளுடன் இணக்கமாக உள்ளன.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்தி | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |