எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் என்பது மின்தடை வெப்பமாக்கலுடன் ஒப்பிடும்போது மிகவும் திறமையான மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பூச்சு முறையாகும், இது எலக்ட்ரான் கற்றை மூலம் ஆவியாதல் பொருளை வெப்பப்படுத்துகிறது, இதனால் அது ஆவியாகி மெல்லிய படலமாக ஒடுங்குகிறது.
மேலும் படிக்கவெற்றிட பூச்சு என்பது பட பொருள் ஆவியாதல், வெற்றிட போக்குவரத்து மற்றும் மெல்லிய பட வளர்ச்சி ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது. வெவ்வேறு திரைப்படப் பொருள் ஆவியாதல் முறைகள் மற்றும் போக்குவரத்து செயல்முறைகளின் படி, வெற்றிட பூச்சு இரண்டு வகைகளாக பிரிக்கப்படலாம்: PVD மற்றும் CVD.
மேலும் படிக்கசிப் தயாரிப்பில் மெல்லிய படப் படிவு இன்றியமையாதது, CVD, ALD அல்லது PVD வழியாக 1 மைக்ரான் தடிமன் கொண்ட படங்களை டெபாசிட் செய்வதன் மூலம் மைக்ரோ சாதனங்களை உருவாக்குகிறது. இந்த செயல்முறைகள் மாற்று கடத்தும் மற்றும் இன்சுலேடிங் படங்களின் மூலம் குறைக்கடத்தி கூறுகளை உருவாக்குகின்றன.
மேலும் படிக்கசெமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறை எட்டு படிகளை உள்ளடக்கியது: செதில் செயலாக்கம், ஆக்சிஜனேற்றம், லித்தோகிராபி, பொறித்தல், மெல்லிய படல படிவு, ஒன்றோடொன்று இணைப்பு, சோதனை மற்றும் பேக்கேஜிங். மணலில் இருந்து சிலிக்கான் செதில்களாகச் செயலாக்கப்பட்டு, ஆக்ஸிஜனேற்றப்பட்டு, வடிவமைத்து, உயர்-துல்லிய சுற்றுகளுக்கு ......
மேலும் படிக்க