செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மெல்லிய படப் பொருட்களை அறையில் வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதில் SiO2, SiN போன்றவை அடங்கும், மேலும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வகைகளில் PECVD மற்றும் LPCVD ஆகியவை அடங்கும். வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் எதிர்வினை வாயு வகையைச் சரிசெய்வதன் மூல......
மேலும் படிக்கஇந்த கட்டுரை முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகளை விவரிக்கிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களில் விரிசல் ஏற்படுவதற்கான காரணங்கள் மற்றும் அதற்கான தீர்வுகள் குறித்தும் இது கவனம் செலுத்துகிறது.
மேலும் படிக்ககுறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம், தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கும் ஏற்றுதல் விளைவு, மைக்ரோ-க்ரூவ் விளைவு மற்றும் சார்ஜிங் விளைவு போன்ற சிக்கல்களை அடிக்கடி சந்திக்கிறது. பிளாஸ்மா அடர்த்தியை மேம்படுத்துதல், எதிர்வினை வாயு கலவையை சரிசெய்தல், வெற்றிட அமைப்பின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல், நியா......
மேலும் படிக்கஅதிக செயல்திறன் கொண்ட SiC மட்பாண்டங்களை தயாரிப்பதற்கான முக்கிய முறை சூடான அழுத்தி சின்டரிங் ஆகும். சூடான அழுத்தும் சின்டரிங் செயல்முறை பின்வருவனவற்றை உள்ளடக்குகிறது: உயர்-தூய்மை SiC தூளைத் தேர்ந்தெடுப்பது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் அழுத்தி மோல்டிங் செய்தல், பின்னர் சின்டரிங் செய்......
மேலும் படிக்கசிலிக்கான் கார்பைடின் (SiC) முக்கிய வளர்ச்சி முறைகளில் PVT, TSSG மற்றும் HTCVD ஆகியவை அடங்கும், ஒவ்வொன்றும் தனித்துவமான நன்மைகள் மற்றும் சவால்களைக் கொண்டுள்ளன. கார்பன் அடிப்படையிலான வெப்பப் புலப் பொருட்களான இன்சுலேஷன் சிஸ்டம்ஸ், க்ரூசிபிள்கள், TaC பூச்சுகள் மற்றும் நுண்துளை கிராஃபைட் ஆகியவை SiC இன் ......
மேலும் படிக்க