இந்தக் கட்டுரை முதலில் TaC இன் மூலக்கூறு அமைப்பு மற்றும் இயற்பியல் பண்புகளை அறிமுகப்படுத்துகிறது, மேலும் சின்டெர்டு டான்டலம் கார்பைடு மற்றும் CVD டான்டலம் கார்பைடு மற்றும் VeTek செமிகண்டக்டரின் பிரபலமான TaC பூச்சு தயாரிப்புகளின் வேறுபாடுகள் மற்றும் பயன்பாடுகளில் கவனம் செலுத்துகிறது.
மேலும் படிக்கSiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு SiC பூச்சு ஒரு முக்கிய மையப் பொருளாக இருப்பதற்கான காரணங்களை இந்தக் கட்டுரை பகுப்பாய்வு செய்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் SiC பூச்சுகளின் குறிப்பிட்ட நன்மைகள் மீது கவனம் செலுத்துகிறது.
மேலும் படிக்கசிலிக்கான் கார்பைடு நானோ பொருட்கள் (SiC) என்பது நானோமீட்டர் அளவில் (1-100nm) குறைந்தபட்சம் ஒரு பரிமாணத்தைக் கொண்ட பொருட்கள் ஆகும். இந்த பொருட்கள் பூஜ்ஜியம்-, ஒன்று-, இரண்டு- அல்லது முப்பரிமாணமாக இருக்கலாம் மற்றும் பல்வேறு பயன்பாடுகளைக் கொண்டிருக்கலாம்.
மேலும் படிக்கCVD SiC என்பது இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படும் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள். இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க கருவிகளில் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் பூச்சுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. பின்வரும் உள்ளடக்கமானது CVD SiC இன் தயாரிப்பு வகைப்பாடு மற்றும் முக்கிய செயல்பாடுகளுக்கான அறிமு......
மேலும் படிக்க