டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு என்றால் என்ன?

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பீங்கான் பொருள் 3880 ℃ வரை உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் அதிக உருகுநிலை மற்றும் நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மையுடன் கூடிய கலவையாகும். இது அதிக வெப்பநிலை சூழலில் நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்க முடியும். கூடுதலாக, இது அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் கார்பன் பொருட்களுடன் நல்ல இரசாயன மற்றும் இயந்திர இணக்கத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது ஒரு சிறந்த கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு பாதுகாப்பு பூச்சு பொருளாக அமைகிறது. 

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வெப்பமான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் நீராவி மற்றும் உருகிய உலோகம் ஆகியவற்றின் விளைவுகளிலிருந்து கிராஃபைட் கூறுகளை திறம்பட பாதுகாக்கிறது, இது கிராஃபைட் கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கையை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது மற்றும் கிராஃபைட்டில் உள்ள அசுத்தங்கள் இடம்பெயர்வதை அடக்குகிறது, தரத்தை உறுதி செய்கிறது.எபிடாக்சியல்மற்றும்படிக வளர்ச்சி.

படம் 1. பொதுவான டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கூறுகள்

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) என்பது கிராஃபைட் பரப்புகளில் TaC பூச்சுகளை உருவாக்குவதற்கு மிகவும் முதிர்ந்த மற்றும் உகந்த முறையாகும்.

TaCl5 மற்றும் Propylene ஐ முறையே கார்பன் மற்றும் டான்டலம் மூலங்களாகவும், ஆர்கானை கேரியர் வாயுவாகவும் பயன்படுத்தி, உயர் வெப்பநிலை ஆவியாக்கப்பட்ட TaCl5 நீராவி எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது. இலக்கு வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில், முன்னோடி பொருள் நீராவி கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படுகிறது, சிதைவு மற்றும் கார்பன் மற்றும் டான்டலம் மூலங்களின் கலவை போன்ற சிக்கலான இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு உட்படுகிறது. முன்னோடியின் துணை தயாரிப்புகள். இறுதியாக, கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் அடர்த்தியான பாதுகாப்பு அடுக்கு உருவாகிறது, இது தீவிர சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகளின் கீழ் நிலையான இருப்பிலிருந்து கிராஃபைட்டைப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் கிராஃபைட் பொருட்களின் பயன்பாட்டு காட்சிகளை கணிசமாக விரிவுபடுத்துகிறது.

படம் 2.இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை கொள்கை

VeTek செமிகண்டக்டர்முக்கியமாக டான்டலம் கார்பைடு தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது: TaC வழிகாட்டி வளையம்,TaC பூசப்பட்ட மூன்று இதழ் வளையம்,TaC பூச்சு க்ரூசிபிள்,TaC பூச்சு நுண்துளை கிராஃபைட் SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறை ஆகும் TaC பூச்சு சஸ்செப்டர்கள், கிரக சஸ்பெப்டர், TaC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் சஸ்பெப்டர் மற்றும் இந்த டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைமற்றும்SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறை.

படம் 3.VeTek செமிகண்டக்டரின் மிகவும் பிரபலமான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள்