VeTek செமிகண்டக்டரின் தயாரிப்பு, SiC சிங்கிள் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கான டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு தயாரிப்புகள், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிகங்களின் வளர்ச்சி இடைமுகத்துடன் தொடர்புடைய சவால்களை நிவர்த்தி செய்கிறது, குறிப்பாக படிகத்தின் விளிம்பில் ஏற்படும் விரிவான குறைபாடுகள். TaC பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்துவதையும், வேகமான மற்றும் அடர்த்தியான வளர்ச்சியை அடைவதற்கு முக்கியமானதாக இருக்கும் படிக மையத்தின் பயனுள்ள பகுதியை அதிகரிப்பதையும் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளோம்.
TaC பூச்சு என்பது உயர்தர SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறையை வளர்ப்பதற்கான ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்ப தீர்வாகும். ரசாயன நீராவி படிவு (CVD) ஐப் பயன்படுத்தி TaC பூச்சு தொழில்நுட்பத்தை வெற்றிகரமாக உருவாக்கியுள்ளோம், இது சர்வதேச அளவில் மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது. TaC ஆனது 3880°C வரையிலான உயர் உருகுநிலை, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு உள்ளிட்ட விதிவிலக்கான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலிக்கான் கொண்ட நீராவி போன்ற பொருட்களுக்கு வெளிப்படும் போது நல்ல இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது.
VeTek செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு, SiC ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சி செயல்முறையின் விளிம்பு தொடர்பான சிக்கல்களைத் தீர்ப்பதற்கு ஒரு தீர்வை வழங்குகிறது, இது வளர்ச்சி செயல்முறையின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது. எங்களின் மேம்பட்ட TaC பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் மூலம், மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் வளர்ச்சியை ஆதரிப்பதையும், இறக்குமதி செய்யப்பட்ட முக்கிய பொருட்களைச் சார்ந்திருப்பதைக் குறைப்பதையும் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளோம்.
TaC கோடட் க்ரூசிபிள், TaC பூச்சு கொண்ட விதை வைத்திருப்பவர், TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம் ஆகியவை SiC மற்றும் AIN ஒற்றை படிக உலைகளில் PVT முறையின் முக்கிய பாகங்களாகும்.
- அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு
-அதிக தூய்மை, SiC மூலப்பொருட்கள் மற்றும் SiC ஒற்றை படிகங்களை மாசுபடுத்தாது.
அல் நீராவி மற்றும் N₂ அரிப்பை எதிர்க்கும்
படிக தயாரிப்பு சுழற்சியைக் குறைக்க உயர் யூடெக்டிக் வெப்பநிலை (AlN உடன்).
-மறுசுழற்சி செய்யக்கூடியது (200h வரை), இது போன்ற ஒற்றை படிகங்களை தயாரிப்பதில் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5 ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
சீனாவில் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட ரிங் தயாரிப்புகளின் தொழில்முறை கண்டுபிடிப்பாளர் மற்றும் தலைவராக, VeTek குறைக்கடத்தி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட மோதிரம் அதன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றுடன் SiC படிக வளர்ச்சியில் ஈடுசெய்ய முடியாத பங்கை வகிக்கிறது. உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் CVD TaC கோட்டிங் ரிங் என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் கோரும் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சாதகமான கூறு ஆகும். CVD TaC கோட்டிங் ரிங் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வழங்குகிறது, இது உயர்ந்த வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் நிலைமைகளால் வகைப்படுத்தப்படும் சூழல்களுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், மேலும் உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க ஆவலுடன் காத்திருக்கிறோம். சீனாவில்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புTaC பூசப்பட்ட போரஸ் கிராஃபைட் என்பது VeTek செமிகண்டக்டரால் வழங்கப்படும் ஒரு மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி செயலாக்கப் பொருளாகும். TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட் நுண்துளை கிராஃபைட் மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு ஆகியவற்றின் நன்மைகளை ஒருங்கிணைக்கிறது, நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வாயு ஊடுருவல். VeTek செமிகண்டக்டர் போட்டி விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் உள்ள கிரிஸ்டல் க்ரோத் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான முன்னணி டான்டலம் கார்பைடு கோடட் டியூப் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக பீங்கான் பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம். சீனாவில்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி TaC கோடட் கையேடு ரிங் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக பீங்கான் பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம்.TaC கோடட் கைடு ரிங் முதன்மையாக காற்றோட்டத்தை வழிநடத்தவும் கட்டுப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் விளைச்சலை அதிகரிக்கிறது. மேலும் தகவலுக்கு எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி TaC கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC மற்றும் TaC பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு கொண்டது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு