சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் சக்

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் சக், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களின் சிறந்த பண்புகளைப் பயன்படுத்துகிறது, குறிப்பாக செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் மிக அதிக துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மை தேவைப்படுகிறது.

குறைக்கடத்தி செயலாக்க செயல்பாட்டில்,சிலிக்கான் கார்பைடுசிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது (1400 ° C வரை நிலையானதாக வேலை செய்ய முடியும்), குறைந்த கடத்துத்திறன் (SiC ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த கடத்துத்திறன் கொண்டது, பொதுவாக 10^^-3S/m) மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (சுமார் 4.0 × 10^^-6/°C), இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத மற்றும் முக்கியமான பொருள், குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் சக் தயாரிப்பதற்கு ஏற்றது.

போதுஎபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறை, செமிகண்டக்டர் பொருள் ஒரு மெல்லிய அடுக்கு ஒரு அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது, சீரான மற்றும் உயர்தர படப் படிவு அடுக்குகளை உறுதிப்படுத்த செதில் இருந்து முழுமையான நிலைப்புத்தன்மை தேவைப்படுகிறது. SiC வெற்றிட சக், செதில்களின் அசைவு அல்லது சிதைவைத் தடுக்க உறுதியான, நிலையான வெற்றிடத்தை உருவாக்குவதன் மூலம் இதை அடைகிறது.

சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் சக் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு சிறந்த எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்கள் பொதுவானவை, மேலும் இந்த ஏற்ற இறக்கங்களைத் தாங்க முடியாத பொருட்கள் விரிசல், வளைவு அல்லது தோல்வியடையும். சிலிக்கான் கார்பைடு வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் கடுமையான வெப்பநிலை மாற்றங்களின் கீழ் கூட அதன் வடிவத்தையும் செயல்பாட்டையும் தக்க வைத்துக் கொள்ள முடியும்.

மேலும், திஎபிடாக்ஸி செயல்முறைபெரும்பாலும் எதிர்வினை வாயுக்கள் மற்றும் பிற அரிக்கும் இரசாயனங்கள் அடங்கும். SiC வேஃபர் சக்கின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை, இந்த கடுமையான சூழல்களால் பாதிக்கப்படாமல், அதன் செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது மற்றும் அதன் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது. இந்த இரசாயன நீடித்த தன்மையானது, வேஃபர் சக் மாற்றத்தின் அதிர்வெண்ணைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், பல உற்பத்தி சுழற்சிகளில் நிலையான தயாரிப்பு செயல்திறனை உறுதிசெய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் செலவு-செயல்திறனை மேம்படுத்த உதவுகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் சக் தயாரிப்புகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். போன்ற பல்வேறு வகையான சக் தயாரிப்புகளை நாங்கள் வழங்க முடியும்நுண்துளை SiC செராமிக் சக், நுண்துளை SiC வெற்றிட சக், நுண்துளை செராமிக் வெற்றிட சக்மற்றும்TaC பூசப்பட்ட சக்VeTek செமிகண்டக்டர், செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

SEM தரவு CVDSIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு：

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் சக் கடைகள்：