சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு

Vetek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சுமிகவும் கடினமான மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பொருளால் செய்யப்பட்ட உயர் செயல்திறன் பாதுகாப்பு பூச்சு ஆகும், இது சிறந்த இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த பண்புகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கியமானவை, எனவே சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சாதனங்களின் முக்கிய கூறுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் Vetek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு ஆற்றிய குறிப்பிட்ட பங்குபின்வருமாறு:

உபகரணங்களின் ஆயுளை அதிகரிக்கவும்: சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு அதன் மிக அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்புடன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி சாதனங்களுக்கு சிறந்த மேற்பரப்பு பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. குறிப்பாக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு போன்ற உயர் வெப்பநிலை, அதிக அரிக்கும் செயல்முறை சூழல்களில், இரசாயன அரிப்பு அல்லது உடல் தேய்மானம் காரணமாக உபகரணங்களின் மேற்பரப்பில் ஏற்படும் சேதத்தை திறம்பட தடுக்கலாம், இதன் மூலம் சேவை ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கும். உபகரணங்கள் மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுதல் மற்றும் பராமரிப்பு காரணமாக வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.

செயல்முறை தூய்மையை மேம்படுத்தவும்: குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், ஏதேனும் சிறிய மாசுபாடு தயாரிப்பு குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தலாம். சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சுகளின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை, தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் நிலையானதாக இருக்க அனுமதிக்கிறது, துகள்கள் அல்லது அசுத்தங்களை வெளியிடுவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் செயல்பாட்டின் போது சுற்றுச்சூழலின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. PECVD மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்ற அதிக துல்லியம் மற்றும் அதிக தூய்மை தேவைப்படும் உற்பத்தி படிகளுக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

வெப்ப மேலாண்மையை மேம்படுத்தவும்: விரைவான வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறைகள் போன்ற உயர்-வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சுகளின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் சாதனங்களுக்குள் ஒரு சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை செயல்படுத்துகிறது. இது வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் வெப்ப அழுத்தம் மற்றும் பொருள் சிதைவைக் குறைக்க உதவுகிறது, இதன் மூலம் தயாரிப்பு உற்பத்தி துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

சிக்கலான செயல்முறை சூழலை ஆதரிக்கவும்: ICP பொறித்தல் மற்றும் PSS பொறித்தல் செயல்முறைகள் போன்ற சிக்கலான வளிமண்டலக் கட்டுப்பாடு தேவைப்படும் செயல்முறைகளில், சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பூச்சு ஹீட்டரின் நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு ஆகியவை நீண்ட கால செயல்பாட்டில் சாதனங்களின் நிலையான செயல்திறனை உறுதிசெய்து, பொருள் சிதைவு அல்லது உபகரணங்களின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. சுற்றுச்சூழல் மாற்றங்கள் காரணமாக ஏற்படும் சேதம்.

Vetek செமிகண்டக்டர்உற்பத்தி மற்றும் உயர் செயல்திறன் வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறதுசிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு, மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்துறைக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக இருப்போம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு:

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பூச்சு கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: