சீனா SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை

VeTek செமிகண்டக்டரின் தனித்துவமான கார்பைடு பூச்சுகள் SiC Epitaxy செயல்முறையில் உள்ள கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி மற்றும் கலப்பு குறைக்கடத்தி பொருட்களை செயலாக்குவதற்கான சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. இதன் விளைவாக நீட்டிக்கப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆயுள், எதிர்வினை ஸ்டோச்சியோமெட்ரியைப் பாதுகாத்தல், எபிடாக்ஸி மற்றும் படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வுகளைத் தடுப்பது, இதன் விளைவாக மகசூல் மற்றும் தரம் அதிகரிக்கிறது.

எங்களின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் வெப்பமான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் நீராவிகள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களிலிருந்து அதிக வெப்பநிலையில் (2200°C வரை) முக்கியமான உலை மற்றும் உலைக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கின்றன. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பரந்த அளவிலான கிராஃபைட் செயலாக்கம் மற்றும் அளவீட்டு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, எனவே நாங்கள் உங்களுக்கும் உங்கள் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டிற்கும் சரியான தீர்வை வடிவமைக்கத் தயாராக உள்ள எங்கள் நிபுணர் பொறியாளர்கள் குழுவுடன் கட்டணம் செலுத்தும் பூச்சு அல்லது முழு சேவையை வழங்க முடியும். .

கூட்டு குறைக்கடத்தி படிகங்கள்

VeTek செமிகண்டக்டர் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு TaC பூச்சுகளை வழங்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டரின் தொழில்துறை முன்னணி பூச்சு செயல்முறையின் மூலம், TaC பூச்சு அதிக தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைப் பெறலாம், இதன் மூலம் படிக TaC/GaN) மற்றும் EPl அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் முக்கியமான உலை கூறுகளின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது.

வெப்ப இன்சுலேட்டர்கள்

SiC, GaN மற்றும் AlN படிக வளர்ச்சி கூறுகள், க்ரூசிபிள்கள், விதை வைத்திருப்பவர்கள், டிஃப்ளெக்டர்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள். மின்தடை வெப்பமூட்டும் கூறுகள், முனைகள், கவச வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் சாதனங்கள், GaN மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் CVD உலை கூறுகள், செதில் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் தட்டுகள், ஷவர் ஹெட்ஸ், தொப்பிகள் மற்றும் பீடங்கள், MOCVD கூறுகள் உள்ளிட்ட தொழில்துறை கூட்டங்கள்.

நோக்கம்:

LED(ஒளி உமிழும் டையோடு) வேஃபர் கேரியர்

ALD(செமிகண்டக்டர்) ரிசீவர்

EPI ஏற்பி (SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை)

TaC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் சஸ்பெப்டர் TaC பூச்சு சஸ்பெப்டர்&ரிங் TaC பூச்சு பாகங்கள் TaC பூச்சு கொண்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள்

SiC பூச்சு மற்றும் TaC பூச்சுகளின் ஒப்பீடு:

	SiC	TaC
முக்கிய அம்சங்கள்	அல்ட்ரா உயர் தூய்மை, சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு	சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை இணக்கம்)
தூய்மை	>99.9999%	>99.9999%
அடர்த்தி (g/cm 3)	3.21	15
கடினத்தன்மை (கிலோ/மிமீ 2)	2900-3300	6.7-7.2
எதிர்ப்பாற்றல் [Ωcm]	0.1-15,000	<1
வெப்ப கடத்துத்திறன் (W/m-K)	200-360	22
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்(10-6/℃)	4.5-5	6.3
விண்ணப்பம்	செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் செராமிக் ஜிக்(ஃபோகஸ் ரிங், ஷவர் ஹெட், டம்மி வேஃபர்)	SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, Epi, UV LED உபகரண பாகங்கள்

View as

நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு தயாரிப்புகளின் தலைவர். நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு பொதுவாக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) முறையால் தயாரிக்கப்படுகிறது, அதன் துளை அளவு மற்றும் விநியோகத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது, மேலும் இது அதிக வெப்பநிலை தீவிர சூழல்களுக்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்ட ஒரு பொருள் கருவியாகும். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

டான்டலம் கார்பைடு வளையம்

சீனாவில் டான்டலம் கார்பைடு ரிங் தயாரிப்புகளின் மேம்பட்ட உற்பத்தியாளர் மற்றும் தயாரிப்பாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு ரிங் மிக அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. குறிப்பாக CVD, PVD, அயன் பொருத்துதல் செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் போக்குவரத்து ஆகியவற்றில், குறைக்கடத்தி செயலாக்கம் மற்றும் உற்பத்திக்கு இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத தயாரிப்பு ஆகும். உங்களின் மேலான ஆலோசனைக்காக காத்திருக்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவு

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவு தயாரிப்பு உற்பத்தியாளர் மற்றும் தொழிற்சாலையாக, VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவு பொதுவாக கட்டமைப்பு கூறுகளின் மேற்பரப்பு பூச்சு அல்லது குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் ஆதரவு கூறுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் முக்கிய உபகரண கூறுகளின் மேற்பரப்பு பாதுகாப்பு. CVD மற்றும் PVD. உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

டான்டலம் கார்பைடு வழிகாட்டி வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் டான்டலம் கார்பைடு கையேடு ரிங் தயாரிப்புகளின் தலைவர். எங்களின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) கைடு ரிங் என்பது டான்டலம் கார்பைடால் செய்யப்பட்ட உயர்-செயல்திறன் கொண்ட வளையக் கூறு ஆகும், இது பொதுவாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக உயர் வெப்பநிலை மற்றும் CVD, PVD, பொறித்தல் மற்றும் பரவல் போன்ற அதிக அரிக்கும் சூழல்களில். VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, மேலும் உங்கள் மேலதிக விசாரணைகளை வரவேற்கிறது.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர்

சீனாவில் TaC Coating Rotation Susceptor தயாரிப்புகளின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர், கண்டுபிடிப்பாளர் மற்றும் தலைவர். VeTek செமிகண்டக்டர் TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர் பொதுவாக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி (MBE) உபகரணங்களில் சீரான பொருள் படிவு மற்றும் திறமையான வினையை உறுதி செய்வதற்காக செதில்களை ஆதரிக்கவும் சுழற்றவும். குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் இது ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

CVD TaC பூச்சு க்ரூசிபிள்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் CVD TaC பூச்சு குரூசிபிள் தயாரிப்புகளின் தலைவர். CVD TaC பூச்சு குரூசிபிள் டான்டலம் கார்பன் (TaC) பூச்சு அடிப்படையிலானது. டான்டலம் கார்பன் பூச்சு அதன் வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்த இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் குரூசிபிளின் மேற்பரப்பில் சமமாக மூடப்பட்டிருக்கும். இது அதிக வெப்பநிலை தீவிர சூழலில் சிறப்பாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு பொருள் கருவியாகும். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

<1 2 3 4 5...6 >

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என்பதால், எங்களிடம் எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைஐ வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.