சீனா SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை

VeTek செமிகண்டக்டரின் தனித்துவமான கார்பைடு பூச்சுகள் SiC Epitaxy செயல்முறையில் உள்ள கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி மற்றும் கலப்பு குறைக்கடத்தி பொருட்களை செயலாக்குவதற்கான சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. இதன் விளைவாக நீட்டிக்கப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆயுள், எதிர்வினை ஸ்டோச்சியோமெட்ரியைப் பாதுகாத்தல், எபிடாக்ஸி மற்றும் படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வுகளைத் தடுப்பது, இதன் விளைவாக மகசூல் மற்றும் தரம் அதிகரிக்கிறது.

எங்களின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் வெப்பமான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் நீராவிகள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களிலிருந்து அதிக வெப்பநிலையில் (2200°C வரை) முக்கியமான உலை மற்றும் உலைக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கின்றன. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பரந்த அளவிலான கிராஃபைட் செயலாக்கம் மற்றும் அளவீட்டு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, எனவே நாங்கள் உங்களுக்கும் உங்கள் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டிற்கும் சரியான தீர்வை வடிவமைக்கத் தயாராக உள்ள எங்கள் நிபுணர் பொறியாளர்கள் குழுவுடன் கட்டணம் செலுத்தும் பூச்சு அல்லது முழு சேவையை வழங்க முடியும். .

கூட்டு குறைக்கடத்தி படிகங்கள்

VeTek செமிகண்டக்டர் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு TaC பூச்சுகளை வழங்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டரின் தொழில்துறை முன்னணி பூச்சு செயல்முறையின் மூலம், TaC பூச்சு அதிக தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைப் பெறலாம், இதன் மூலம் படிக TaC/GaN) மற்றும் EPl அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் முக்கியமான உலை கூறுகளின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது.

வெப்ப இன்சுலேட்டர்கள்

SiC, GaN மற்றும் AlN படிக வளர்ச்சி கூறுகள், க்ரூசிபிள்கள், விதை வைத்திருப்பவர்கள், டிஃப்ளெக்டர்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள். மின்தடை வெப்பமூட்டும் கூறுகள், முனைகள், கவச வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் சாதனங்கள், GaN மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் CVD உலை கூறுகள், செதில் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் தட்டுகள், ஷவர் ஹெட்ஸ், தொப்பிகள் மற்றும் பீடங்கள், MOCVD கூறுகள் உள்ளிட்ட தொழில்துறை கூட்டங்கள்.

நோக்கம்:

LED(ஒளி உமிழும் டையோடு) வேஃபர் கேரியர்

ALD(செமிகண்டக்டர்) ரிசீவர்

EPI ஏற்பி (SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை)

TaC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் சஸ்பெப்டர் TaC பூச்சு சஸ்பெப்டர்&ரிங் TaC பூச்சு பாகங்கள் TaC பூச்சு கொண்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள்

SiC பூச்சு மற்றும் TaC பூச்சுகளின் ஒப்பீடு:

	SiC	TaC
முக்கிய அம்சங்கள்	அல்ட்ரா உயர் தூய்மை, சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு	சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை இணக்கம்)
தூய்மை	>99.9999%	>99.9999%
அடர்த்தி (g/cm 3)	3.21	15
கடினத்தன்மை (கிலோ/மிமீ 2)	2900-3300	6.7-7.2
எதிர்ப்பாற்றல் [Ωcm]	0.1-15,000	<1
வெப்ப கடத்துத்திறன் (W/m-K)	200-360	22
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்(10-6/℃)	4.5-5	6.3
விண்ணப்பம்	செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் செராமிக் ஜிக்(ஃபோகஸ் ரிங், ஷவர் ஹெட், டம்மி வேஃபர்)	SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, Epi, UV LED உபகரண பாகங்கள்

View as

CVD TaC பூச்சு கேரியர்

VeTek செமிகண்டக்டரின் CVD TaC கோட்டிங் கேரியர் முக்கியமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. CVD TaC கோட்டிங் கேரியரின் அல்ட்ரா-உயர் உருகுநிலை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் செயல்முறையில் இந்த தயாரிப்பின் இன்றியமையாமையை தீர்மானிக்கிறது. உங்களுடன் நீண்ட கால வணிக உறவை உருவாக்க நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு கையேடு வளையமானது கிராஃபைட் பாகங்களில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) எனப்படும் மிகவும் மேம்பட்ட நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்படுகிறது. இந்த முறை நன்கு நிறுவப்பட்டது மற்றும் விதிவிலக்கான பூச்சு பண்புகளை வழங்குகிறது. TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், கிராஃபைட் கூறுகளின் ஆயுட்காலம் கணிசமாக நீட்டிக்கப்படலாம், கிராஃபைட் அசுத்தங்களின் இயக்கத்தை அடக்கலாம் மற்றும் SiC மற்றும் AIN ஒற்றை படிகத் தரத்தை நம்பகத்தன்மையுடன் பராமரிக்கலாம். எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர், கிராஃபைட் பாகங்களின் மேற்பரப்பில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்பதற்கு இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) முறையைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த செயல்முறை மிகவும் முதிர்ச்சியடைந்தது மற்றும் சிறந்த பூச்சு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. TaC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் கிராஃபைட் கூறுகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்க முடியும், கிராஃபைட் அசுத்தங்கள் இடம்பெயர்வதைத் தடுக்கிறது மற்றும் எபிடாக்ஸியின் தரத்தை உறுதிப்படுத்துகிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறது.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

TaC பூச்சு சஸ்பெப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் TaC கோட்டிங் சஸ்பெப்டரை வழங்குகிறது, அதன் விதிவிலக்கான TaC பூச்சுடன், இந்த susceptor பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இது வழக்கமான தீர்வுகளிலிருந்து தனித்து நிற்கிறது. ஏற்கனவே உள்ள அமைப்புகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கிறது, VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோட்டிங் சஸ்செப்டர் செயல்பாடு. இணக்கத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. அதன் நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் உயர்தர TaC பூச்சு ஆகியவை SiC epitaxy செயல்முறைகளில் விதிவிலக்கான முடிவுகளைத் தொடர்ந்து வழங்குகின்றன. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்க நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்டகால கூட்டாளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு

VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு ஒரு சிறந்த TaC பூச்சுடன் உள்ளது, அதன் விதிவிலக்கான TaC பூச்சுடன், TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு குறிப்பிடத்தக்க உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. விலைகள் மற்றும் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக இருப்பதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

TaC பூச்சு தட்டு

VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோட்டிங் பிளேட் என்பது சிறப்பான அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகளை வழங்கும் ஒரு குறிப்பிடத்தக்க தயாரிப்பு ஆகும். துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டு, கச்சிதமாக வடிவமைக்கப்பட்டு, எங்கள் TaC கோட்டிங் பிளேட், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. TaC கோட்டிங் பிளேட்டின் துல்லியமான பரிமாணங்கள் மற்றும் வலுவான கட்டுமானம், தடையற்ற இணக்கத்தன்மையை உறுதிசெய்து, ஏற்கனவே உள்ள அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைப்பதை எளிதாக்குகிறது. மற்றும் திறமையான செயல்பாடு. அதன் நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் உயர்தர பூச்சு SiC படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளில் சீரான மற்றும் சீரான முடிவுகளுக்கு பங்களிக்கிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்க நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

<...2 3 4 5 6...7 >

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என்பதால், எங்களிடம் எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைஐ வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.