VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு ஒரு சிறந்த TaC பூச்சுடன் உள்ளது, அதன் விதிவிலக்கான TaC பூச்சுடன், TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு குறிப்பிடத்தக்க உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. விலைகள் மற்றும் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக இருப்பதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு சுழற்சி தகடு அதிக தூய்மையான கலவை, 5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் மற்றும் அடர்த்தியான மற்றும் சீரான கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது LPE EPI அமைப்புகள், Aixtron அமைப்புகள், Nuflare அமைப்புகள், TEL CVD அமைப்புகள், VEECO அமைப்புகள், TSI ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அமைப்புகள்.
சிறந்த இயந்திர பண்புகள்:
2300HV வரை பூச்சு கடினத்தன்மை, சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு.
பூச்சு மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு இடையே உள்ள ஒட்டுதல் வலுவாக உள்ளது, மேலும் அது விழுவது அல்லது உரிக்கப்படுவது எளிதானது அல்ல.
பூச்சு இன்னும் அதிக வெப்பநிலையில் நல்ல கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.
சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு:
TaC பொருள் சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது.
VeTek குறைக்கடத்தியின் பூச்சுகள் பல்வேறு ஆக்கிரமிப்பு வாயு சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்படுகின்றன.
கருவியின் உள் கூறுகளை அரிப்பு சேதத்திலிருந்து திறம்பட பாதுகாக்க முடியும்.
உயர் மேற்பரப்பு பூச்சு:
VeTek செமிகண்டக்டர் விரும்பிய பூச்சு தயாரிக்க ஒரு துல்லியமான பூச்சு செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகிறது.
குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை துகள் குவிப்பு மற்றும் படிவு குறைக்க உதவுகிறது.
பூச்சு நிலைத்தன்மை நல்லது:
VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு ஒலி தரக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தொகுதிகளுக்கு இடையே நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
பூச்சு தடிமன் சமமாக விநியோகிக்கப்படுகிறது மற்றும் வெளிப்படையான உள்ளூர் குறைபாடுகள் இல்லை.
சிறந்த நடைமுறை பயன்பாட்டு செயல்திறன்:
VeTek குறைக்கடத்தியின் TaC பூச்சு உள்நாட்டிலும் வெளிநாட்டிலும் பல நன்கு அறியப்பட்ட எபிடாக்சியல் உபகரண உற்பத்தியாளர்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |