VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோடட் டிஃப்ளெக்டர் ரிங் என்பது SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த கூறு ஆகும். படிக வளர்ச்சியின் போது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களை சமாளிக்க TaC பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வழங்குகிறது. இது நிலையான செயல்திறன் மற்றும் கூறுகளின் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது, மாற்று மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்குவதற்கு நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சைனா TaC கோடட் டிஃப்ளெக்டர் ரிங் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். எங்கள் TaC கோடட் டிஃப்ளெக்டர் ரிங் என்பது SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த கூறுகள். அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, விதிவிலக்கான ஆயுள் மற்றும் ஒப்பிடமுடியாத இரசாயன செயலற்ற தன்மை தேவைப்படும் சூழல்களில் இந்த கூறுகள் முக்கியமானவை.
TaC பூசப்பட்ட டிஃப்ளெக்டர் ரிங் உயர் தூய்மையான டான்டலம் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு தீவிர எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. கூறுகளின் TaC பூச்சு, படிக வளர்ச்சியில் பொதுவான ஆக்கிரமிப்பு இரசாயனங்கள் மற்றும் கடுமையான சூழல்களுக்கு எதிராக கூடுதல் பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. பூச்சு இருப்பது கூறுகளின் ஆயுள் மற்றும் ஆயுள் அதிகரிக்கிறது, பல சுழற்சிகளில் நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்கிறது.
TaC கோடட் டிஃப்ளெக்டர் ரிங் 2200 டிகிரி செல்சியஸ் வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இது அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும். ஆராய்ச்சி மற்றும் தொழில்துறை அளவிலான படிக வளர்ச்சி உலைகள் இரண்டிற்கும் ஏற்றது.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5 ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |