VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி டான்டலம் கார்பைடு கோடட் பிளானட்டரி ரோட்டேஷன் டிஸ்க் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் புதுமைப்பித்தன் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக பீங்கான் பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம். சீனா.
சீன உற்பத்தியாளர் VeTek செமிகண்டக்டரால் உயர்தர டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு வழங்கப்படுகிறது. வாங்கடான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்டதுகுறைந்த விலையில் நேரடியாக உயர் தரத்தில் இருக்கும் கிரக சுழற்சி வட்டு.
டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு என்பது AIXTRON G10 MOCVD அமைப்பிற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துணை சாதனமாகும், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துவதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது. உயர்தர பொருட்களிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டு, துல்லியமாக தயாரிக்கப்படும், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு, சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்முறைகள்.
கிரக வட்டு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறைப் பயன்படுத்தி கட்டப்பட்டுள்ளதுCVD TaC, சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலைக்கு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது.
வெவ்வேறு குறைக்கடத்தி செதில் அளவுகளுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, பிளானட்டரி டிஸ்க் பல்வேறு உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்றது. அதன் வலுவான கட்டுமானமானது, MOCVD அமைப்பின் கோரும் இயக்க நிலைமைகளைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, நீண்ட கால செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது மற்றும் வேஃபர் கேரியர்கள் மற்றும் சஸ்செப்டர்களுடன் தொடர்புடைய வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளைக் குறைக்கிறது.
கிரக வட்டுடன், திAIXTRON G10 MOCVD அமைப்புகுறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் அதிக திறன் மற்றும் சிறந்த முடிவுகளை அடைய முடியும். அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, வெவ்வேறு செதில் அளவுகளுடன் இணக்கத்தன்மை மற்றும் நம்பகமான செயல்திறன் ஆகியவை உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கும் சவாலான MOCVD சூழலில் சிறந்த விளைவுகளை அடைவதற்கும் ஒரு இன்றியமையாத கருவியாக அமைகிறது.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3*10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |