VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கவர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக TaC மற்றும் SiC பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக வலிமை கொண்டவை. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டரில் சீனாவில் இருந்து டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட அட்டையின் பெரிய தேர்வைக் கண்டறியவும். தொழில்முறை விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவை மற்றும் சரியான விலையை வழங்கவும், ஒத்துழைப்பை எதிர்நோக்குகிறோம். VeTek செமிகண்டக்டரால் உருவாக்கப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கவர் என்பது AIXTRON G10 MOCVD அமைப்பிற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துணைப் பொருளாகும், இது செயல்திறனை மேம்படுத்தவும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தரத்தை மேம்படுத்தவும் நோக்கமாக உள்ளது. இது உயர்தரப் பொருட்களைப் பயன்படுத்தி மிக நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டு, உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (எம்ஓசிவிடி) செயல்முறைகளுக்கான சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதிசெய்து, மிகத் துல்லியத்துடன் தயாரிக்கப்படுகிறது.
இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுடன் கட்டப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கவர் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, உயர் தூய்மை மற்றும் உயர்ந்த வெப்பநிலைக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இந்த தனித்துவமான பொருட்களின் கலவையானது MOCVD அமைப்பின் கோரும் செயல்பாட்டு நிலைமைகளுக்கு நம்பகமான தீர்வை வழங்குகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கவர் பல்வேறு குறைக்கடத்தி செதில் அளவுகளுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, இது பல்வேறு உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்றது. அதன் வலுவான கட்டுமானமானது சவாலான MOCVD சூழலை தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, நீண்ட கால செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது மற்றும் செதில் கேரியர்கள் மற்றும் சஸ்செப்டர்களுடன் தொடர்புடைய வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கிறது.
TaC அட்டையை AIXTRON G10 MOCVD அமைப்பில் இணைப்பதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்கள் அதிக செயல்திறன் மற்றும் சிறந்த முடிவுகளை அடைய முடியும். விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, வெவ்வேறு செதில் அளவுகளுடன் இணக்கத்தன்மை மற்றும் பிளானட்டரி டிஸ்கின் நம்பகமான செயல்திறன் ஆகியவை உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கும் MOCVD செயல்பாட்டில் சிறந்த விளைவுகளை அடைவதற்கும் ஒரு தவிர்க்க முடியாத கருவியாக அமைகிறது.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |