VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சக் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் புதுமைப்பித்தன் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக TaC பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் 2000℃ வரை அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. உங்களின் நீண்டகாலமாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம். சீனாவில் பங்குதாரர்.
VeTek செமிகண்டக்டர் சப்ளை உயர்தர டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சக், SiC பூச்சு பாகங்கள் போட்டி விலையுடன். எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சக், குறிப்பாக AIXTRON G10 MOCVD அமைப்பிற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த துணையானது செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது, சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.
உயர்தர பொருட்களிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்டு, துல்லியமாக தயாரிக்கப்படும் சக், CVD டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு கொண்டுள்ளது. இந்த பூச்சு சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலைக்கு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இது MOCVD செயல்முறைகளின் கோரும் நிலைமைகளில் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.
சக் வெவ்வேறு குறைக்கடத்தி செதில் அளவுகளுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் தனிப்பயனாக்கக்கூடியது, இது பல்வேறு உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்றது. அதன் வலுவான கட்டுமானமானது வேலையில்லா நேரம் மற்றும் செதில் கேரியர்கள் மற்றும் சஸ்செப்டர்களுடன் தொடர்புடைய பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கிறது.
VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சக் உடன், AIXTRON G10 MOCVD அமைப்பு செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் அதிக திறன் மற்றும் சிறந்த முடிவுகளை அடைகிறது. அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, வெவ்வேறு செதில் அளவுகளுடன் இணக்கத்தன்மை மற்றும் நம்பகமான செயல்திறன் ஆகியவை உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கும் சவாலான MOCVD சூழலில் சிறந்த விளைவுகளை அடைவதற்கும் ஒரு இன்றியமையாத கருவியாக அமைகிறது.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5 ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |