LPE ரியாக்டர் தொழிற்சாலைக்கான 8 இன்ச் ஹாஃப்மூன் பகுதி

டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு உற்பத்தியாளர்

LPE PE2061S சப்ளையருக்கான SiC கோடட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர்

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுப் பொருட்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளர். எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகளில் CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பாகங்கள், SiC படிக வளர்ச்சிக்கான சின்டெர்டு TaC பூச்சு பாகங்கள் அல்லது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஆகியவை அடங்கும். ISO9001 ஐப் பெற்றால், VeTek செமிகண்டக்டர் தரத்தில் நல்ல கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுத் தொழிலில் புதுமைப்பித்தனாக ஆவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது.

முக்கிய தயாரிப்புகள் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு டிஃபெக்டர் ரிங், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், TaC பூசப்பட்ட அரை நிலவு பாகங்கள், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு (Aixtron G10) , TaC கோடட் க்ரூசிபிள்; TaC பூசப்பட்ட மோதிரங்கள்; TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்; டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்; TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்; TaC டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட தட்டு; TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்பெப்டர்; TaC பூச்சு வளையம்; TaC பூச்சு கிராஃபைட் கவர்; TaC பூசப்பட்ட சங்க் போன்றவை, தூய்மையானது 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது. இதன் நன்மை கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு 3880 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக உருகுநிலை, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை தேவைகளுடன் கூடிய செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது. Aixtron MOCVD அமைப்பு மற்றும் LPE SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை போன்றவை. இது PVT முறை SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறையிலும் பரந்த பயன்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.

VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு:

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்
அடர்த்தி	14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு	0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	6.3 10-6/கே
கடினத்தன்மை (HK)	2000 எச்.கே
எதிர்ப்பு	1×10-5 ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது	-10~-20um
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)

TaC பூச்சு EDX தரவு

TaC பூச்சு படிக அமைப்பு தரவு

உறுப்பு	அணு சதவீதம்
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	சராசரி
சி கே	52.10	57.41	52.37	53.96
டா எம்	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC பூச்சு சக் TaC பூச்சு கிரக வட்டு TaC பூசப்பட்ட தட்டு TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு TaC பூச்சு உறிஞ்சி CVD TaC பூச்சு கவர் CVD TaC பூச்சு வளையம் TaC பூச்சு தட்டு

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு

VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோகக் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.

எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.

VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிக்கவும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்தவும் இது உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.

எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பலவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது.

நாம் செய்யக்கூடிய அணு உலை பாகங்கள்:

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பல தனித்துவமான நன்மைகள்:

VeTek செமிகண்டக்டர் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்தி	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1

சிறப்பு தயாரிப்புகள்

எங்களை பற்றி

VeTek செமிகண்டக்டர் டெக்னாலஜி கோ., LTD, 2016 இல் நிறுவப்பட்டது, குறைக்கடத்தி தொழில்துறைக்கான மேம்பட்ட பூச்சு பொருட்களை வழங்குவதில் முன்னணியில் உள்ளது. எங்கள் நிறுவனர், சீன அகாடமி ஆஃப் சயின்சஸ் இன்ஸ்டிட்யூட் ஆப் மெட்டீரியலின் முன்னாள் நிபுணர், தொழில்துறைக்கான அதிநவீன தீர்வுகளை உருவாக்குவதில் கவனம் செலுத்தி நிறுவனத்தை நிறுவினார்.

எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகள் அடங்கும்CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகள், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள், மொத்த SiC, SiC பொடிகள் மற்றும் உயர்-தூய்மை SiC பொருட்கள். முக்கிய தயாரிப்புகள் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர், ப்ரீஹீட் ரிங்க்ஸ், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் போன்றவை, தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

மேலும் படிக்க