Aixtron செயற்கைக்கோள் செதில் கேரியர்

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை Aixtron Satellite Wafer Carrier தயாரிப்பு உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளராக, VeTek Semiconductor's Aixtron Satellite Wafer Carrier என்பது AIXTRON உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு செதில் கேரியர் ஆகும், இது முக்கியமாக குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் MOCVD செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் துல்லியத்திற்கு ஏற்றது. குறைக்கடத்தி செயலாக்க செயல்முறைகள். MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது கேரியர் நிலையான செதில் ஆதரவையும் சீரான படப் படிவையும் வழங்க முடியும், இது அடுக்கு படிவு செயல்முறைக்கு அவசியம். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

Aixtron Satellite Wafer Carrier என்பது AIXTRON MOCVD உபகரணங்களின் ஒருங்கிணைந்த பகுதியாகும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக செதில்களை எடுத்துச் செல்ல சிறப்பாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது குறிப்பாக பொருத்தமானதுஎபிடாக்சியல் வளர்ச்சிGaN மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) சாதனங்களின் செயல்முறை. அதன் தனித்துவமான "செயற்கைக்கோள்" வடிவமைப்பு வாயு ஓட்டத்தின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்வதோடு மட்டுமல்லாமல், செதில் மேற்பரப்பில் படப் படிவின் சீரான தன்மையையும் மேம்படுத்துகிறது.

Aixtron இன்செதில் கேரியர்கள்பொதுவாக செய்யப்படுகின்றனசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)அல்லது CVD- பூசப்பட்ட கிராஃபைட். அவற்றில், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. CVD பூசப்பட்ட கிராஃபைட் என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையின் மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு படத்துடன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஆகும், இது அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையை மேம்படுத்தும். SiC மற்றும் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்கள் 1,400°C-1,600°C வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் உயர் வெப்பநிலையில் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்கும், இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கு முக்கியமானது.

Aixtron G5 MOCVD Susceptor

Aixtron Satellite Wafer Carrier முக்கியமாக செதில்களை எடுத்துச் செல்லவும் சுழற்றவும் பயன்படுகிறதுMOCVD செயல்முறைஎபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது சீரான வாயு ஓட்டம் மற்றும் சீரான படிவு ஆகியவற்றை உறுதி செய்ய.குறிப்பிட்ட செயல்பாடுகள் பின்வருமாறு:

செதில் சுழற்சி மற்றும் சீரான படிவு: Aixtron Satellite Carrier இன் சுழற்சியின் மூலம், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது செதில் நிலையான இயக்கத்தை பராமரிக்க முடியும், இது பொருட்களின் சீரான படிவுகளை உறுதி செய்வதற்காக செதில் மேற்பரப்பில் வாயு சீராக பாய அனுமதிக்கிறது.

அதிக வெப்பநிலை தாங்குதல் மற்றும் நிலைத்தன்மை: சிலிக்கான் கார்பைடு அல்லது பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பொருட்கள் 1,400°C–1,600°C வரை வெப்பநிலையைத் தாங்கும். உயர் வெப்பநிலை எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது செதில் சிதைவடையாது என்பதை இந்த அம்சம் உறுதி செய்கிறது, அதே நேரத்தில் கேரியரின் வெப்ப விரிவாக்கம் எபிடாக்சியல் செயல்முறையை பாதிக்காமல் தடுக்கிறது.

குறைக்கப்பட்ட துகள் உருவாக்கம்: உயர்தர கேரியர் பொருட்கள் (SiC போன்றவை) மென்மையான மேற்பரப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை நீராவி படிவின் போது துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கின்றன, இதனால் மாசுபடுவதற்கான சாத்தியக்கூறுகளைக் குறைக்கிறது, இது உயர்-தூய்மை, உயர்தர குறைக்கடத்தி பொருட்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு முக்கியமானது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் Aixtron சேட்டிலைட் வேஃபர் கேரியர் 100mm, 150mm, 200mm மற்றும் இன்னும் பெரிய செதில் அளவுகளில் கிடைக்கிறது, மேலும் உங்கள் உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளின் அடிப்படையில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை வழங்க முடியும். சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக இருப்போம் என்று நாங்கள் உண்மையாக நம்புகிறோம்.

CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் கட்டமைப்பின் SEM தரவு：

SEM DATA OF CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Aixtron சேட்டிலைட் வேஃபர் கேரியர் தயாரிப்பு கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

சூடான குறிச்சொற்கள்: Aixtron சேட்டிலைட் வேஃபர் கேரியர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை