VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் பூசப்பட்ட அப்பர் ஹாஃப்மூன் பார்ட் SiC இன் முன்னணி சப்ளையர் ஆகும், இது 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக மேம்பட்ட பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. VeTek செமிகண்டக்டர் அப்பர் ஹாஃப்மூன் பகுதி SiC பூசப்பட்டது குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் உபகரணங்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது எதிர்வினை அறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது. அல்ட்ரா-தூய, குறைக்கடத்தி-தர கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, இது சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை அழைக்கிறோம்.
தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, நாங்கள் உங்களுக்கு உயர்தர அப்பர் ஹாஃப்மூன் பாகம் SiC பூசப்பட்ட வழங்க விரும்புகிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் அப்பர் ஹாஃப்மூன் பகுதி SiC பூசப்பட்டவை குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் அறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. அவை பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் பல்வேறு உபகரண மாதிரிகளுடன் இணக்கமாக உள்ளன.
விண்ணப்ப காட்சி:
VeTek செமிகண்டக்டரில், உயர்தர அப்பர் ஹாஃப்மூன் பார்ட் SiC பூசப்பட்ட தயாரிப்பில் நாங்கள் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் SiC மற்றும் TaC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகள் குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் அறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன மற்றும் பல்வேறு உபகரண மாதிரிகளுடன் பரந்த இணக்கத்தன்மையை வழங்குகின்றன.
VeTek செமிகண்டக்டர் அப்பர் ஹாஃப்மூன் பகுதி SiC பூசப்பட்டது SiC எபிடாக்சியல் சேம்பரில் கூறுகளாக செயல்படுகிறது. அவை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்பநிலை நிலைகள் மற்றும் செதில்களுடன் மறைமுக தொடர்பை உறுதிசெய்து, 5 ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தை பராமரிக்கின்றன.
உகந்த எபிடாக்சியல் லேயர் தரத்தை உறுதிசெய்ய, தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு சீரான தன்மை போன்ற முக்கியமான அளவுருக்களை நாங்கள் கவனமாக கண்காணிக்கிறோம். எங்களின் மதிப்பீட்டில் சிறந்த தயாரிப்பு தரத்தை அடைய பட தடிமன், கேரியர் செறிவு, சீரான தன்மை மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை தரவு ஆகியவை அடங்கும்.
VeTek செமிகண்டக்டர் அப்பர் ஹாஃப்மூன் பகுதி SiC பூசப்பட்டது, LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH மற்றும் பல உள்ளிட்ட பல்வேறு உபகரண மாதிரிகளுடன் இணக்கமானது.
எங்கள் உயர்தர அப்பர் ஹாஃப்மூன் பகுதி SiC பூசப்பட்டதை ஆராய அல்லது எங்கள் தொழிற்சாலைக்கு வருகை தருவதற்கு இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்தி | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |