நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு

VeTek செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனின் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் பொருள் ஆகும். அதன் நுண்துளை அமைப்பு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் தீவிர சூழல்களில் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. TaC சிறந்த கடினத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் சிறந்த பொருள் தேர்வாக அமைகிறது.

நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு (TaC) டான்டலம் (Ta) மற்றும் கார்பன் (C) ஆகியவற்றால் ஆனது, இதில் டான்டலம் கார்பன் அணுக்களுடன் ஒரு வலுவான இரசாயன பிணைப்பை உருவாக்குகிறது, இது பொருளுக்கு மிக அதிக ஆயுள் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பை அளிக்கிறது. நுண்துளை TaC இன் நுண்துளை அமைப்பு பொருளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டின் போது உருவாக்கப்படுகிறது, மேலும் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப நுண்துளையை கட்டுப்படுத்தலாம். இந்த தயாரிப்பு பொதுவாக உற்பத்தி செய்யப்படுகிறதுஇரசாயன நீராவி படிவு (CVD)முறை, அதன் துளை அளவு மற்றும் விநியோகம் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி.

டான்டலம் கார்பைட்டின் மூலக்கூறு அமைப்பு

VeTek செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பின்வரும் தயாரிப்பு அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது

●  போரோசிட்டி: நுண்துளை அமைப்பு வாயு பரவல், வடிகட்டுதல் அல்லது கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்பச் சிதறல் உள்ளிட்ட குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டுக் காட்சிகளில் வெவ்வேறு செயல்பாடுகளை வழங்குகிறது.

●  அதிக உருகுநிலை: டான்டலம் கார்பைடு 3,880°C என்ற மிக உயர்ந்த உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது, இது மிக அதிக வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

●  சிறந்த கடினத்தன்மை: நுண்துளை TaC ஆனது, வைரத்தைப் போலவே மோஸ் கடினத்தன்மை அளவில் 9-10 என்ற மிக அதிக கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. , மற்றும் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் இயந்திர உடைகளை எதிர்க்க முடியும்.

●  வெப்ப நிலைத்தன்மை: டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பொருள் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் நிலையானதாக இருக்கும் மற்றும் வலுவான வெப்ப நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் அதன் சீரான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

●  அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: அதன் போரோசிட்டி இருந்தபோதிலும், போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு இன்னும் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனை தக்கவைத்து, திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கிறது.

●  குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம்: டான்டலம் கார்பைட்டின் (TaC) குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் குறிப்பிடத்தக்க வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களின் கீழ் பொருள் பரிமாண ரீதியாக நிலையாக இருக்க உதவுகிறது மற்றும் வெப்ப அழுத்தத்தின் தாக்கத்தைக் குறைக்கிறது.

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பின்வரும் குறிப்பிட்ட முக்கியப் பாத்திரத்தை வகிக்கிறதுs

போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளில்பிளாஸ்மா பொறித்தல்மற்றும் CVD, VeTek செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு பெரும்பாலும் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கு பாதுகாப்பு பூச்சாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பின் காரணமாகும்TaC பூச்சுமற்றும் அதன் உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை. இந்த பண்புகள் வினைத்திறன் வாயுக்கள் அல்லது தீவிர வெப்பநிலைக்கு வெளிப்படும் மேற்பரப்புகளை திறம்பட பாதுகாக்கிறது, இதன் மூலம் உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் இயல்பான எதிர்வினையை உறுதி செய்கிறது.

பரவல் செயல்முறைகளில், நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளில் பொருட்கள் கலப்பதைத் தடுக்க ஒரு பயனுள்ள பரவல் தடையாக செயல்படும். அயன் பொருத்துதல் மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் தூய்மைக் கட்டுப்பாடு போன்ற செயல்முறைகளில் டோபண்டுகளின் பரவலைக் கட்டுப்படுத்த இந்த அம்சம் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் போரஸ் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்துளை அமைப்பு, துல்லியமான வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு அல்லது வடிகட்டுதல் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயலாக்க சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. இந்த செயல்பாட்டில், நுண்துளை TaC முக்கியமாக வாயு வடிகட்டுதல் மற்றும் விநியோகத்தின் பாத்திரத்தை வகிக்கிறது. அதன் இரசாயன செயலற்ற தன்மை வடிகட்டுதல் செயல்பாட்டின் போது எந்த அசுத்தங்களும் அறிமுகப்படுத்தப்படவில்லை என்பதை உறுதி செய்கிறது. இது பதப்படுத்தப்பட்ட பொருளின் தூய்மையை திறம்பட உறுதி செய்கிறது.

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு