CVD TaC பூச்சு வேஃபர் கேரியர்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் போது, ​​VeTek செமிகண்டக்டர்கள்CVD TaC பூச்சு வேஃபர் கேரியர்செதில்களை எடுத்துச் செல்லப் பயன்படும் தட்டு ஆகும். இந்த தயாரிப்பு ஒரு இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி அதன் மேற்பரப்பில் TaC பூச்சு ஒரு அடுக்கை பூசுகிறது.வேஃபர் கேரியர் அடி மூலக்கூறு. இந்த பூச்சு செதில் கேரியரின் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் செயலாக்கத்தின் போது துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது. குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் இது ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.

VeTek செமிகண்டக்டர்கள்CVD TaC பூச்சு வேஃபர் கேரியர்அடி மூலக்கூறு மற்றும் aடான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு.

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் தடிமன் பொதுவாக 30 மைக்ரான் வரம்பில் இருக்கும், மேலும் TaC ஆனது 3,880°C வரை உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, அதே நேரத்தில் மற்ற பண்புகளுடன் சிறந்த அரிப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது.

கேரியரின் அடிப்படைப் பொருள் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அல்லதுசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC), பின்னர் TaC இன் ஒரு அடுக்கு (2000HK வரை Knoop கடினத்தன்மை) அதன் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமையை மேம்படுத்த CVD செயல்முறை மூலம் மேற்பரப்பில் பூசப்படுகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் CVD TaC பூச்சு வேஃபர் கேரியர் பொதுவாகசெதில் சுமந்து செல்லும் செயல்பாட்டின் போது பின்வரும் பாத்திரங்களை வகிக்கிறது:

செதில் ஏற்றுதல் மற்றும் சரிசெய்தல்: டான்டலம் கார்பைட்டின் Knoop கடினத்தன்மை 2000HK வரை அதிகமாக உள்ளது, இது எதிர்வினை அறையில் உள்ள செதில்களின் நிலையான ஆதரவை திறம்பட உறுதி செய்யும். TaC இன் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனுடன் இணைந்து (வெப்ப கடத்துத்திறன் சுமார் 21 W/mK ஆகும்), இது செதில் மேற்பரப்பை சமமாக சூடாக்குகிறது மற்றும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை பராமரிக்கிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான வளர்ச்சியை அடைய உதவுகிறது.

துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும்: CVD TaC பூச்சுகளின் மென்மையான மேற்பரப்பு மற்றும் அதிக கடினத்தன்மை கேரியருக்கும் செதில்களுக்கும் இடையிலான உராய்வைக் குறைக்க உதவுகிறது, இதனால் துகள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது, இது உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதில் முக்கியமானது.

உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் போது, ​​உண்மையான இயக்க வெப்பநிலை பொதுவாக 1,200°C மற்றும் 1,600°C வரை இருக்கும், மேலும் TaC பூச்சுகள் 3,880°C வரை உருகும் புள்ளியைக் கொண்டிருக்கும். அதன் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்துடன் (வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் தோராயமாக 6.3 × 10⁻⁶/°C) இணைந்து, கேரியர் அதிக வெப்பநிலை நிலைமைகளின் கீழ் அதன் இயந்திர வலிமை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், செயலாக்கத்தின் போது செதில் விரிசல் அல்லது அழுத்த சிதைவைத் தடுக்கிறது.

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு:

CVD TaC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்：