ALD கிரக சஸ்பெப்டர்

ALD செயல்முறை, அதாவது அணு அடுக்கு எபிடாக்ஸி செயல்முறை. Vetek செமிகண்டக்டர் மற்றும் ALD சிஸ்டம் உற்பத்தியாளர்கள் SiC பூசப்பட்ட ALD பிளானெட்டரி சஸ்செப்டர்களை உருவாக்கி தயாரித்துள்ளனர், அவை ALD செயல்முறையின் உயர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்து அடி மூலக்கூறு மீது காற்றோட்டத்தை சமமாக விநியோகிக்கின்றன. அதே நேரத்தில், Vetek செமிகண்டக்டரின் உயர் தூய்மை CVD SiC பூச்சு செயல்பாட்டில் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. எங்களுடன் ஒத்துழைப்பைப் பற்றி விவாதிக்க வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, Vetek செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு SiC பூசப்பட்ட ALD பிளானட்டரி சஸ்செப்டரை வழங்க விரும்புகிறது.

Atomic Layer Epitaxy எனப்படும் ALD செயல்முறை, மெல்லிய-பட படிவு தொழில்நுட்பத்தில் துல்லியத்தின் உச்சமாக உள்ளது. Vetek செமிகண்டக்டர், முன்னணி ALD சிஸ்டம் உற்பத்தியாளர்களுடன் இணைந்து, அதிநவீன SiC- பூசப்பட்ட ALD பிளானட்டரி சஸ்செப்டர்களின் வளர்ச்சி மற்றும் தயாரிப்பில் முன்னோடியாக உள்ளது. இந்த புதுமையான சஸ்செப்டர்கள் ALD செயல்முறையின் கடுமையான கோரிக்கைகளை விஞ்சும் வகையில் நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இது இணையற்ற துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனுடன் அடி மூலக்கூறு முழுவதும் காற்றோட்டத்தின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது.

மேலும், Vetek செமிகண்டக்டரின் சிறப்பான அர்ப்பணிப்பு உயர்-தூய்மை CVD SiC பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் உருவகப்படுத்தப்படுகிறது, ஒவ்வொரு படிவு சுழற்சியின் வெற்றிக்கும் முக்கியமான தூய்மையின் நிலைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. தரத்திற்கான இந்த அர்ப்பணிப்பு செயல்முறை நம்பகத்தன்மையை அதிகரிப்பது மட்டுமல்லாமல், பல்வேறு பயன்பாடுகளில் ALD செயல்முறைகளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் மறுஉருவாக்கம் ஆகியவற்றை உயர்த்துகிறது.

ALD தொழில்நுட்ப கண்ணோட்டத்தின் நன்மைகள்:

துல்லியமான தடிமன் கட்டுப்பாடு: படிவு சுழற்சிகளைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் சிறந்த மறுபரிசீலனையுடன் துணை-நானோமீட்டர் பட தடிமன் அடையவும்.

மேற்பரப்பு மென்மையானது: சரியான 3D இணக்கத்தன்மை மற்றும் 100% படி கவரேஜ், அடி மூலக்கூறு வளைவை முழுமையாகப் பின்பற்றும் மென்மையான பூச்சுகளை உறுதி செய்கிறது.

பரவலான பொருந்தக்கூடிய தன்மை: செதில்கள் முதல் பொடிகள் வரை பல்வேறு பொருட்களின் மீது பூசக்கூடியது, உணர்திறன் அடி மூலக்கூறுகளுக்கு ஏற்றது.

Customizable Material Properties: Easy customization of material properties for oxides, nitrides, metals, etc.

பரந்த செயல்முறை சாளரம்: வெப்பநிலை அல்லது முன்னோடி மாறுபாடுகளுக்கு உணர்வின்மை, சரியான பூச்சு தடிமன் சீரான தன்மையுடன் தொகுதி உற்பத்திக்கு உகந்தது.

சாத்தியமான ஒத்துழைப்புகள் மற்றும் கூட்டாண்மைகளை ஆராய எங்களுடன் உரையாடலில் ஈடுபட உங்களை அன்புடன் அழைக்கிறோம். ஒன்றாக, நாம் புதிய சாத்தியக்கூறுகளைத் திறக்கலாம் மற்றும் மெல்லிய-பட வைப்புத் தொழில்நுட்பத்தின் துறையில் புதுமைகளை இயக்கலாம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1

உற்பத்தி கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

சூடான குறிச்சொற்கள்: ALD பிளானட்டரி சஸ்செப்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை