LPE PE2061Sக்கான SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்செப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் LPE PE2061S உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான முன்னணி SiC கோடட் பேரல் சஸ்செப்டராகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC பூச்சுப் பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். குறிப்பாக LPE PE2061S 4'' செதில்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட SiC- பூசப்பட்ட பீப்பாய் சசெப்டரை நாங்கள் வழங்குகிறோம். LPE (Liquid Phase Epitaxy) செயல்பாட்டின் போது செயல்திறன் மற்றும் நீடித்து நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தும் நீடித்த சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு இந்த susceptor கொண்டுள்ளது. சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சைனா SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்பெப்டர் ஆகும்LPE PE2061Sஉற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர்.

LPE PE2061Sக்கான VeTeK செமிகண்டக்டர் SiC-கோடட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர் என்பது, மிகவும் சுத்திகரிக்கப்பட்ட ஐசோட்ரோபிக் கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் சிலிக்கான் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்கைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் உருவாக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் தயாரிப்பு ஆகும். இது VeTeK செமிகண்டக்டரின் தனியுரிமை மூலம் அடையப்படுகிறதுஇரசாயன நீராவி படிவு (CVD)செயல்முறை.

LPE PE2061Sக்கான எங்களது SiC கோடட் பேரல் சஸ்செப்டர் என்பது ஒரு வகையான CVD எபிடாக்சியல் டெபாசிஷன் பீப்பாய் உலை தீவிர சூழல்களில் நம்பகமான செயல்திறனை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் விதிவிலக்கான பூச்சு ஒட்டுதல், உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை கடுமையான சூழ்நிலைகளில் பயன்படுத்த சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. கூடுதலாக, அதன் சீரான வெப்ப சுயவிவரம் மற்றும் லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது, உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.

எங்கள் குறைக்கடத்தியின் பீப்பாய் வடிவ வடிவமைப்புஎபிடாக்சியல் உலைலேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவங்களை மேம்படுத்துகிறது, சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. இது மாசுபடுவதையோ அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதையோ தடுக்க உதவுகிறது.செதில் அடி மூலக்கூறுகளில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.

எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர, செலவு குறைந்த தயாரிப்புகளை வழங்க நாங்கள் அர்ப்பணித்துள்ளோம். எங்கள் CVD SiC பூசப்பட்ட பேரல் சஸ்செப்டர் விலை போட்டித்தன்மையின் நன்மையை வழங்குகிறது, அதே நேரத்தில் இரண்டிற்கும் சிறந்த அடர்த்தியை பராமரிக்கிறது.கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுமற்றும்சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நம்பகமான பாதுகாப்பை வழங்குகிறது.

CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் கட்டமைப்பின் SEM தரவு:

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கான SiC- பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்பெக்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்பு மென்மையை வெளிப்படுத்துகிறது.

இது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் இடையே வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கிறது

சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு, திறம்பட பிணைப்பு வலிமையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்கிறது.

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக திறன்களைக் கொண்டுள்ளன.

இது அதிக உருகுநிலை, அதிக வெப்பநிலை கொண்டதுஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, மற்றும்அரிப்பு எதிர்ப்பு.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10^-6K^-1

LPE PE2061S உற்பத்திக் கடைக்கான VeTek செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர்:

SiC Coated Barrel Susceptor for LPE PE2061S Production Shop

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

semiconductor chip epitaxy industry chain

சூடான குறிச்சொற்கள்: LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை