LPE PE2061Sக்கான SiC பூசப்பட்ட மேல் தட்டு

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் LPE PE2061S உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான முன்னணி SiC கோடட் டாப் பிளேட் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC பூச்சுப் பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். LPE PE2061S க்காக குறிப்பாக LPE சிலிக்கான் எபிடாக்சி ரியாக்டருக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட SiC கோடட் டாப் பிளேட்டை நாங்கள் வழங்குகிறோம். LPE PE2061Sக்கான இந்த SiC கோடட் டாப் பிளேட் பீப்பாய் susceptor உடன் முதலிடம் வகிக்கிறது. இந்த CVD SiC பூசப்பட்ட தட்டு உயர் தூய்மை, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்ப்பதற்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம். சீனாவில்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது LPE PE2061S உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர்களுக்கான தொழில்முறை சைனா SiC கோடட் டாப் பிளேட் ஆகும்.

சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களில் LPE PE2061Sக்கான VeTeK செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் டாப் பிளேட், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது எபிடாக்சியல் செதில்களை (அல்லது அடி மூலக்கூறுகளை) ஆதரிக்கவும் வைத்திருக்கவும் ஒரு பீப்பாய் வகை உடல் சஸ்செப்டருடன் இணைந்து பயன்படுத்தப்படுகிறது.

LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் டாப் பிளேட் பொதுவாக உயர்-வெப்பநிலை நிலையான கிராஃபைட் பொருட்களால் ஆனது. VeTek செமிகண்டக்டர் மிகவும் பொருத்தமான கிராஃபைட் பொருளைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் போன்ற காரணிகளை கவனமாகக் கருதுகிறது, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் வலுவான பிணைப்பை உறுதி செய்கிறது.

LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் டாப் பிளேட், எபிடாக்சி வளர்ச்சியின் போது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழலைத் தாங்கும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. இது நீண்ட கால நிலைத்தன்மை, நம்பகத்தன்மை மற்றும் செதில்களின் பாதுகாப்பை உறுதி செய்கிறது.

சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களில், முழு CVD SiC பூசப்பட்ட உலையின் முதன்மைச் செயல்பாடு செதில்களை ஆதரிப்பது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சிக்கு ஒரு சீரான அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை வழங்குவதாகும். கூடுதலாக, இது செதில்களின் நிலை மற்றும் நோக்குநிலையில் மாற்றங்களை அனுமதிக்கிறது, விரும்பிய வளர்ச்சி நிலைகள் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு பண்புகளை அடைய வளர்ச்சியின் போது வெப்பநிலை மற்றும் திரவ இயக்கவியல் மீதான கட்டுப்பாட்டை எளிதாக்குகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் தயாரிப்புகள் அதிக துல்லியம் மற்றும் சீரான பூச்சு தடிமன் வழங்குகின்றன. ஒரு இடையக அடுக்கின் ஒருங்கிணைப்பு தயாரிப்பின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது. சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களில், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது எபிடாக்சியல் செதில்களை (அல்லது அடி மூலக்கூறுகளை) ஆதரிக்கவும் வைத்திருக்கவும் ஒரு பீப்பாய் வகை உடல் சஸ்செப்டருடன் இணைந்து பயன்படுத்தப்படுகிறது.

SEM data and structure of CVD SIC films

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு கடை

VeTek Semiconductor Production Shop

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

சூடான குறிச்சொற்கள்: LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் டாப் பிளேட், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை