VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் LPE PE2061S உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான முன்னணி SiC கோடட் சப்போர்ட் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC பூச்சுப் பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். LPE சிலிக்கான் எபிடாக்சி ரியாக்டருக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட LPE PE2061Sக்கான SiC பூசப்பட்ட ஆதரவை நாங்கள் வழங்குகிறோம். LPE PE2061Sக்கான இந்த SiC கோடட் சப்போர்ட் பீப்பாய் சஸ்செப்டரின் அடிப்பகுதியாகும். இது 1600 டிகிரி செல்சியஸ் உயர் வெப்பநிலையைத் தாங்கும், கிராஃபைட் உதிரி பாகத்தின் தயாரிப்பு ஆயுளை நீட்டிக்கும். விசாரணையை அனுப்ப வரவேற்கிறோம்.
LPE PE2061Sக்கான உயர்தர SiC பூசப்பட்ட ஆதரவு சீனா உற்பத்தியாளர் VeTek செமிகண்டக்டரால் வழங்கப்படுகிறது. குறைந்த விலையில் நேரடியாக உயர் தரத்தில் உள்ள LPE PE2061Sக்கான SiC பூசப்பட்ட ஆதரவை வாங்கவும்.
சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில் LPE PE2061Sக்கான VeTeK செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் சப்போர்ட், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது எபிடாக்சியல் செதில்களை (அல்லது அடி மூலக்கூறுகளை) ஆதரிக்கவும் வைத்திருக்கவும் ஒரு பீப்பாய் வகை சஸ்செப்டருடன் இணைந்து பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கீழே உள்ள தட்டு முக்கியமாக பீப்பாய் எபிடாக்சியல் உலையுடன் பயன்படுத்தப்படுகிறது, பீப்பாய் எபிடாக்சியல் உலை ஒரு பெரிய எதிர்வினை அறை மற்றும் பிளாட் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டரை விட அதிக உற்பத்தி திறன் கொண்டது.
ஆதரவு ஒரு வட்ட துளை வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் முதன்மையாக அணுஉலையின் உள்ளே வெளியேற்றும் கடைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
LPE PE2061Sக்கான VeTeK செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் சப்போர்ட் லிக்விட் பேஸ் எபிடாக்ஸி (LPE) ரியாக்டர் சிஸ்டம், அதிக தூய்மை, சீரான பூச்சு, உயர் வெப்பநிலை நிலைப்புத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக கடினத்தன்மை, சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் இரசாயன விரிவாக்க குணகம். .
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்தி | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |