LPE PE3061S 6'' வேஃபர்களுக்கான SiC கோடட் பான்கேக் சஸ்பெப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது LPE PE3061S 6'' செதில்கள் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான முன்னணி SiC கோடட் பான்கேக் சஸ்செப்டராகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC பூச்சுப் பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். நாங்கள் குறிப்பாக LPE PE3061S 6 க்காக வடிவமைக்கப்பட்ட SiC- பூசப்பட்ட பான்கேக் சஸ்செப்டரை வழங்குகிறோம். . இந்த எபிடாக்சியல் சசெப்டர் அதிக அரிப்பு எதிர்ப்பு, நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் செயல்திறன், நல்ல சீரான தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

தொழில்முறை உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு LPE PE3061S 6'' செதில்களுக்கான உயர்தர SiC கோடட் பான்கேக் சஸ்செப்டரை வழங்க விரும்புகிறது.

LPE PE3061S 6" செதில்களுக்கான VeTeK செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் பான்கேக் சஸ்பெப்டர் என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கியமான கருவியாகும்.

LPE PE3061S 6" செதில்களுக்கான SiC கோடட் பான்கேக் சஸ்பெப்டர் தயாரிப்பு அம்சங்கள்:

உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: SiC சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மையை வெளிப்படுத்துகிறது, அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் அதன் கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது.

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: SiC விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, விரைவான மற்றும் சீரான வெப்ப பரிமாற்றத்தை வேகமான மற்றும் சமமான வெப்பமாக்குகிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, பல்வேறு வெப்பச் சூழல்களில் அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தை எதிர்க்கிறது.

சீரான வெப்பமாக்கல் விநியோகம்: SiC- பூசப்பட்ட செதில் கேரியர் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குகிறது, வெப்பமாக்கலின் போது செதில்களின் மேற்பரப்பில் சமமான வெப்பநிலையை உறுதி செய்கிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு ஏற்றது: Si epitaxy வேஃபர் கேரியர், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக Si epitaxy வளர்ச்சி மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை வெப்பமாக்கல் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

தயாரிப்பு நன்மைகள்:

மேம்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தி திறன்: SiC-பூசப்பட்ட பான்கேக் சஸ்பெக்டர் வேகமான மற்றும் சீரான வெப்பத்தை செயல்படுத்துகிறது, வெப்ப நேரத்தை குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.

உறுதிசெய்யப்பட்ட தயாரிப்பு தரம்: சீரான வெப்ப விநியோகம் செதில் செயலாக்கத்தின் போது நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இது தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்த வழிவகுக்கிறது.

நீட்டிக்கப்பட்ட உபகரண ஆயுட்காலம்: SiC பொருள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது பான்கேக் சஸ்செப்டரின் நீண்ட ஆயுளுக்கு பங்களிக்கிறது.

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகள்: SiC-coated susceptor, Si epitaxy வேஃபர் கேரியர் வாடிக்கையாளர் தேவைகளின் அடிப்படையில் வெவ்வேறு அளவுகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகளுக்கு ஏற்ப வடிவமைக்கப்படலாம்.

SEM data and structure of CVD SIC films

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு கடை

VeTek Semiconductor Production Shop

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

சூடான குறிச்சொற்கள்: LPE PE3061S 6'' வேஃபர்களுக்கான SiC கோடட் பான்கேக் சஸ்செப்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை