EPI க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர், சப்ளையர் மற்றும் EPI க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்செப்டருக்கான ஏற்றுமதியாளர். ஒரு தொழில்முறை குழு மற்றும் முன்னணி தொழில்நுட்பத்தின் ஆதரவுடன், VeTek செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு நியாயமான விலையில் உயர் தரத்தை வழங்க முடியும். மேலும் கலந்துரையாடலுக்கு எங்கள் தொழிற்சாலைக்கு வருகை தர உங்களை வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவின் உற்பத்தியாளர் & சப்ளையர் ஆகும், அவர் முக்கியமாக பல வருட அனுபவத்துடன் EPI க்காக SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்செப்டரை உற்பத்தி செய்கிறார். உங்களுடன் வணிக உறவை உருவாக்க நம்புகிறேன். EPI (Epitaxy) என்பது மேம்பட்ட குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தியில் ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும். சிக்கலான சாதன கட்டமைப்புகளை உருவாக்க, ஒரு அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய அடுக்குகளை வைப்பதை உள்ளடக்கியது. EPI க்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர்கள் பொதுவாக EPI உலைகளில் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வெப்பநிலைக்கு எதிர்ப்பின் காரணமாக சஸ்செப்டர்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. CVD-SiC பூச்சுடன், இது மாசுபடுதல், அரிப்பு மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு அதிக எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது. இதன் விளைவாக சஸ்பெப்டருக்கு நீண்ட ஆயுட்காலம் மற்றும் மேம்பட்ட திரைப்படத் தரம்.

எங்கள் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டரின் நன்மைகள்:

குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு: SiC இன் செயலற்ற தன்மையானது அசுத்தங்கள் சஸ்பெப்டர் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொள்வதைத் தடுக்கிறது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.

அதிகரித்த அரிப்பு எதிர்ப்பு: வழக்கமான கிராஃபைட்டைக் காட்டிலும் SiC அரிப்பைக் கணிசமாக எதிர்க்கிறது, இது சஸ்செப்டருக்கு நீண்ட ஆயுளுக்கு வழிவகுக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப நிலைத்தன்மை: SiC சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் குறிப்பிடத்தக்க சிதைவு இல்லாமல் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.

மேம்படுத்தப்பட்ட திரைப்படத் தரம்: மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு ஆகியவை மேம்பட்ட சீரான தன்மை மற்றும் தடிமன் கட்டுப்பாட்டுடன் கூடிய உயர்தர டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களில் விளைகின்றன.

பயன்பாடுகள்:

SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர்கள் பல்வேறு EPI பயன்பாடுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றுள்:

GaN அடிப்படையிலான LEDகள்

பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ்

ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள்

உயர் அதிர்வெண் டிரான்சிஸ்டர்கள்

சென்சார்கள்

SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டரின் தயாரிப்பு அளவுரு

ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டின் இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	அலகு	வழக்கமான மதிப்பு
மொத்த அடர்த்தி	g/cm³	1.83
கடினத்தன்மை	எச்.எஸ்.டி	58
மின் எதிர்ப்பாற்றல்	mΩ.m	10
நெகிழ்வு வலிமை	MPa	47
அமுக்கு வலிமை	MPa	103
இழுவிசை வலிமை	MPa	31
யங்ஸ் மாடுலஸ்	GPa	11.8
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	10-6K-1	4.6
வெப்ப கடத்தி	W·m-1·K-1	130
சராசரி தானிய அளவு	μm	8-10
போரோசிட்டி	%	10
சாம்பல் உள்ளடக்கம்	பிபிஎம்	≤10 (சுத்திகரிக்கப்பட்ட பிறகு)

குறிப்பு: பூச்சுக்கு முன், முதல் சுத்திகரிப்பு செய்வோம், பூச்சுக்குப் பிறகு, இரண்டாவது சுத்திகரிப்பு செய்வோம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்தி	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம்(CTE)	4.5×10-6K-1

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு கடை

சூடான குறிச்சொற்கள்: EPI, சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்குதல், மேம்பட்டது, நீடித்தது, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது ஆகியவற்றிற்கான SiC கோடட் கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர்

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை