VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர், கிராஃபைட் பாகங்களின் மேற்பரப்பில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்பதற்கு இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) முறையைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த செயல்முறை மிகவும் முதிர்ச்சியடைந்தது மற்றும் சிறந்த பூச்சு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. TaC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் கிராஃபைட் கூறுகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்க முடியும், கிராஃபைட் அசுத்தங்கள் இடம்பெயர்வதைத் தடுக்கிறது மற்றும் எபிடாக்ஸியின் தரத்தை உறுதிப்படுத்துகிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறது.
சமீபத்திய விற்பனையான, குறைந்த விலை மற்றும் உயர்தர TaC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்செப்டரை வாங்க, எங்கள் தொழிற்சாலை VeTek செமிகண்டக்டருக்கு வர உங்களை வரவேற்கிறோம். உங்களுடன் ஒத்துழைக்க நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
டான்டலம் கார்பைடு செராமிக் மெட்டீரியல் உருகும் புள்ளி 3880℃, உயர் உருகும் புள்ளி மற்றும் கலவையின் நல்ல இரசாயன நிலைத்தன்மை, அதன் உயர் வெப்பநிலை சூழல் இன்னும் நிலையான செயல்திறனை பராமரிக்க முடியும், கூடுதலாக, இது அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு, நல்ல இரசாயன கார்பன் பொருட்கள் மற்றும் பிற குணாதிசயங்களுடனான இயந்திர இணக்கத்தன்மை, இது ஒரு சிறந்த கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு பாதுகாப்பு பூச்சு பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வெப்பமான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன் மற்றும் சிலிக்கான் நீராவி மற்றும் உருகிய உலோகத்தின் தாக்கத்திலிருந்து கிராஃபைட் கூறுகளை திறம்பட பாதுகாக்கிறது, கிராஃபைட் கூறுகளின் சேவை ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது மற்றும் கிராஃபைட்டில் உள்ள அசுத்தங்கள் இடம்பெயர்வதைத் தடுக்கிறது. எபிடாக்சி மற்றும் படிக வளர்ச்சியின் தரத்தை உறுதி செய்கிறது. இது முக்கியமாக ஈரமான பீங்கான் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) என்பது கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுக்கு மிகவும் முதிர்ந்த மற்றும் உகந்த தயாரிப்பு முறையாகும்.
பூச்சு செயல்முறை TaCl5 மற்றும் ப்ரோப்பிலீனை முறையே கார்பன் மூலமாகவும் டான்டலம் மூலமாகவும், மற்றும் ஆர்கானை கேரியர் வாயுவாகவும் டான்டலம் பென்டாக்ளோரைடு நீராவியை அதிக வெப்பநிலை வாயுவாக்கத்திற்குப் பிறகு எதிர்வினை அறைக்குள் கொண்டு வர பயன்படுத்துகிறது. இலக்கு வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தின் கீழ், முன்னோடி பொருளின் நீராவி கிராஃபைட் பகுதியின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்படுகிறது, மேலும் சிதைவு மற்றும் கார்பன் மூல மற்றும் டான்டலம் மூலத்தின் கலவை போன்ற சிக்கலான இரசாயன எதிர்வினைகள் நிகழ்கின்றன. அதே நேரத்தில், முன்னோடியின் பரவல் மற்றும் துணை தயாரிப்புகளின் சிதைவு போன்ற தொடர்ச்சியான மேற்பரப்பு எதிர்வினைகளும் ஈடுபட்டுள்ளன. இறுதியாக, கிராஃபைட் பகுதியின் மேற்பரப்பில் அடர்த்தியான பாதுகாப்பு அடுக்கு உருவாகிறது, இது கிராஃபைட் பகுதியை தீவிர சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகளின் கீழ் நிலையானதாக இருந்து பாதுகாக்கிறது. கிராஃபைட் பொருட்களின் பயன்பாட்டு காட்சிகள் கணிசமாக விரிவுபடுத்தப்பட்டுள்ளன.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5 ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |