TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு கையேடு வளையமானது கிராஃபைட் பாகங்களில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) எனப்படும் மிகவும் மேம்பட்ட நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்படுகிறது. இந்த முறை நன்கு நிறுவப்பட்டது மற்றும் விதிவிலக்கான பூச்சு பண்புகளை வழங்குகிறது. TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், கிராஃபைட் கூறுகளின் ஆயுட்காலம் கணிசமாக நீட்டிக்கப்படலாம், கிராஃபைட் அசுத்தங்களின் இயக்கத்தை அடக்கலாம் மற்றும் SiC மற்றும் AIN ஒற்றை படிகத் தரத்தை நம்பகத்தன்மையுடன் பராமரிக்கலாம். எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சீனா TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம், TaC பூச்சு குரூசிபிள், விதை வைத்திருப்பவர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர்.

SiC இல் TaC பூச்சு குரூசிபிள், விதை வைத்திருப்பவர் மற்றும் TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம் மற்றும் AIN ஒற்றை படிக உலை ஆகியவை PVT முறையில் வளர்க்கப்பட்டன.

SiC ஐ தயாரிக்க இயற்பியல் நீராவி போக்குவரத்து முறை (PVT) பயன்படுத்தப்படும் போது, விதை படிகமானது ஒப்பீட்டளவில் குறைந்த வெப்பநிலை மண்டலத்திலும், SiC மூலப்பொருள் ஒப்பீட்டளவில் அதிக வெப்பநிலை பகுதியிலும் (2400 ℃ க்கு மேல்) இருக்கும். மூலப்பொருள் சிதைவு SiXCy (முக்கியமாக Si, SiC₂, Si₂C போன்றவை உட்பட) உற்பத்தி செய்கிறது. நீராவி கட்டப் பொருள் உயர் வெப்பநிலைப் பகுதியிலிருந்து குறைந்த வெப்பநிலைப் பகுதியில் உள்ள விதைப் படிகத்திற்குக் கொண்டு செல்லப்பட்டு, அணுக்கரு மற்றும் வளரும். ஒற்றைப் படிகத்தை உருவாக்க. இந்தச் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வெப்பக் களப் பொருட்கள், க்ரூசிபிள், ஃப்ளோ கைடு ரிங், விதைப் படிக வைத்திருப்பவர் போன்றவை அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கக்கூடியதாக இருக்க வேண்டும் மற்றும் SiC மூலப்பொருட்கள் மற்றும் SiC ஒற்றைப் படிகங்களை மாசுபடுத்தாது. இதேபோல், AlN ஒற்றை படிகங்களின் வளர்ச்சியில் வெப்பமூட்டும் கூறுகள் அல் நீராவி, N₂ அரிப்பை எதிர்க்க வேண்டும், மேலும் படிக தயாரிப்பு காலத்தை குறைக்க அதிக யூடெக்டிக் வெப்பநிலை (மற்றும் AlN) இருக்க வேண்டும்.

TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வெப்பப் புலப் பொருட்களால் தயாரிக்கப்பட்ட SiC மற்றும் AlN ஆகியவை தூய்மையானவை, கிட்டத்தட்ட கார்பன் (ஆக்ஸிஜன், நைட்ரஜன்) மற்றும் பிற அசுத்தங்கள், குறைவான விளிம்பு குறைபாடுகள், ஒவ்வொரு பகுதியிலும் சிறிய எதிர்ப்பாற்றல் மற்றும் மைக்ரோபோர் அடர்த்தி மற்றும் எச்சிங் குழி அடர்த்தி ஆகியவை கண்டறியப்பட்டது. கணிசமாக குறைக்கப்பட்டது (KOH பொறித்த பிறகு), மற்றும் படிக தரம் பெரிதும் மேம்படுத்தப்பட்டது. கூடுதலாக, TaC க்ரூசிபிள் எடை இழப்பு விகிதம் கிட்டத்தட்ட பூஜ்ஜியமாக உள்ளது, தோற்றம் அழிவில்லாதது, மறுசுழற்சி செய்யப்படலாம் (200h வரை வாழ்க்கை), அத்தகைய ஒற்றை படிக தயாரிப்பின் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம்.

TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தின் தயாரிப்பு அளவுரு:

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்
அடர்த்தி	14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு	0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	6.3 10-6/கே
கடினத்தன்மை (HK)	2000 எச்.கே
எதிர்ப்பு	1×10-5 ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது	-10~-20um
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)

உற்பத்தி கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

சூடான குறிச்சொற்கள்: TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை