VeTek செமிகண்டக்டரின் தனித்துவமான கார்பைடு பூச்சுகள் SiC Epitaxy செயல்முறையில் உள்ள கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி மற்றும் கலப்பு குறைக்கடத்தி பொருட்களை செயலாக்குவதற்கான சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. இதன் விளைவாக நீட்டிக்கப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆயுள், எதிர்வினை ஸ்டோச்சியோமெட்ரியைப் பாதுகாத்தல், எபிடாக்ஸி மற்றும் படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வுகளைத் தடுப்பது, இதன் விளைவாக மகசூல் மற்றும் தரம் அதிகரிக்கிறது.
எங்களின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் வெப்பமான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் நீராவிகள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களிலிருந்து அதிக வெப்பநிலையில் (2200°C வரை) முக்கியமான உலை மற்றும் உலைக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கின்றன. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பரந்த அளவிலான கிராஃபைட் செயலாக்கம் மற்றும் அளவீட்டு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, எனவே நாங்கள் உங்களுக்கும் உங்கள் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டிற்கும் சரியான தீர்வை வடிவமைக்கத் தயாராக உள்ள எங்கள் நிபுணர் பொறியாளர்கள் குழுவுடன் கட்டணம் செலுத்தும் பூச்சு அல்லது முழு சேவையை வழங்க முடியும். .
கூட்டு குறைக்கடத்தி படிகங்கள்
VeTek செமிகண்டக்டர் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு TaC பூச்சுகளை வழங்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டரின் தொழில்துறை முன்னணி பூச்சு செயல்முறையின் மூலம், TaC பூச்சு அதிக தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைப் பெறலாம், இதன் மூலம் படிக TaC/GaN) மற்றும் EPl அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் முக்கியமான உலை கூறுகளின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது.
வெப்ப இன்சுலேட்டர்கள்
SiC, GaN மற்றும் AlN படிக வளர்ச்சி கூறுகள், க்ரூசிபிள்கள், விதை வைத்திருப்பவர்கள், டிஃப்ளெக்டர்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள். மின்தடை வெப்பமூட்டும் கூறுகள், முனைகள், கவச வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் சாதனங்கள், GaN மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் CVD உலை கூறுகள், செதில் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் தட்டுகள், ஷவர் ஹெட்ஸ், தொப்பிகள் மற்றும் பீடங்கள், MOCVD கூறுகள் உள்ளிட்ட தொழில்துறை கூட்டங்கள்.
LED(ஒளி உமிழும் டையோடு) வேஃபர் கேரியர்
ALD(செமிகண்டக்டர்) ரிசீவர்
EPI ஏற்பி (SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை)
TaC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் சஸ்பெப்டர் TaC பூச்சு சஸ்பெப்டர்&ரிங் TaC பூச்சு பாகங்கள் TaC பூச்சு கொண்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள்
SiC | TaC | |
முக்கிய அம்சங்கள் | அல்ட்ரா உயர் தூய்மை, சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு | சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை இணக்கம்) |
தூய்மை | >99.9999% | >99.9999% |
அடர்த்தி (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
கடினத்தன்மை (கிலோ/மிமீ 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
எதிர்ப்பாற்றல் [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் (W/m-K) | 200-360 | 22 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்(10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
விண்ணப்பம் | செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் செராமிக் ஜிக்(ஃபோகஸ் ரிங், ஷவர் ஹெட், டம்மி வேஃபர்) | SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, Epi, UV LED உபகரண பாகங்கள் |
VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் TaC கோட்டிங் ஹீட்டரின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர். இந்த தயாரிப்பு மிக அதிக உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது (சுமார் 3880°C). TaC கோட்டிங் ஹீட்டரின் உயர் உருகுநிலையானது மிக அதிக வெப்பநிலையில் செயல்பட உதவுகிறது, குறிப்பாக உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்பாட்டில் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியில். VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் ஒரு தொழில்முறை TaC பூசப்பட்ட சக் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என, VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு சக் குறிப்பாக குறைக்கடத்தி உலைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் சிறந்த செயல்திறனுடன், Vetek செமிகண்டக்டரின் புதுமையான தொழில்நுட்பமானது, உயர்தர உற்பத்தித் தரத்தை உறுதிப்படுத்த, குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தொழிலுக்கு நம்பகமான தீர்வை வழங்குகிறது. எங்கள் தயாரிப்புகள் உங்களுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் உயர்தர தயாரிப்பு தீர்வுகளை கொண்டு வர முடியும் என்று நாங்கள் நம்புகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் ஒரு தொழில்முறை TaC பூச்சு குழாய் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர், VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு குழாய் சிலிக்கான் கார்பைடு ஒற்றை படிகங்களின் வெற்றிகரமான வளர்ச்சிக்கான முக்கிய அங்கமாகும். அதன் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் சிறந்த செயல்திறன் ஆகியவற்றுடன், நிலையான முடிவுகளுடன் உயர்தர படிகங்களின் உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது. உங்கள் PVT முறை SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறையை மேம்படுத்தவும் சிறந்த முடிவுகளை அடையவும் எங்கள் புதுமையான தீர்வுகளை நம்புங்கள். எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி உற்பத்தியாளர், கண்டுபிடிப்பாளர் மற்றும் சீனாவில் CVD TAC பூச்சுகளின் தலைவர். பல ஆண்டுகளாக, CVD TaC கோட்டிங் கவர், CVD TaC கோட்டிங் ரிங், CVD TaC கோட்டிங் கேரியர் போன்ற பல்வேறு CVD TAC பூச்சு தயாரிப்புகளில் கவனம் செலுத்தி வருகிறோம். VeTek செமிகண்டக்டர் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகள் மற்றும் திருப்திகரமான தயாரிப்பு விலைகளை ஆதரிக்கிறது, மேலும் உங்களின் மேலும் எதிர்பார்ப்பை எதிர்நோக்குகிறோம் ஆலோசனை.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் TaC கோட்டிங் பிளேட் மற்றும் பிற TaC பூச்சு உதிரி பாகங்களின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர். TaC பூச்சு தற்போது முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடு சிங்கிள் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி (PVT முறை), எபிடாக்சியல் டிஸ்க் (சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி, எல்இடி எபிடாக்ஸி உட்பட) போன்ற செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பூச்சு தட்டு TaC பூச்சு உதிரி பாகங்களுக்கான அளவுகோலாக மாறியுள்ளது. நீங்கள் எங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவீர்கள் என எதிர்பார்க்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் SiC epi susceptor, CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TAC COATING கிராஃபைட் சசெப்டர் ஆகியவற்றில் GaN இன் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். அவற்றில், SiC எபி சசெப்டரில் உள்ள GaN குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை செயலாக்க திறன் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் மூலம், இது GaN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் உயர் செயல்திறன் மற்றும் பொருள் தரத்தை உறுதி செய்கிறது. உங்களின் மேலான ஆலோசனையை நாங்கள் உண்மையாக எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு