SiC எபி ஏற்பியில் GaN

ஒரு நிபுணராககுறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்சீனாவில்,VeTek செமிகண்டக்டர் SiC எபி ஏற்பியில் GaNதயாரிப்பு செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்SiC இல் GaNசாதனங்கள், மற்றும் அதன் செயல்திறன் நேரடியாக எபிடாக்சியல் லேயரின் தரத்தை பாதிக்கிறது. பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், RF சாதனங்கள் மற்றும் பிற துறைகளில் SiC சாதனங்களில் GaN இன் பரவலான பயன்பாட்டுடன், தேவைகள்SiC எபி ரிசீவர்மேலும் உயரும். VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான இறுதி தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது, மேலும் உங்கள் ஆலோசனையை வரவேற்கிறது.

பொதுவாக, பங்குSiC எபி ஏற்பியில் GaNகுறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பின்வருமாறு:

உயர் வெப்பநிலை செயலாக்க திறன்: SiC எபி சசெப்டரில் உள்ள GaN (GaN அடிப்படையிலான சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி வட்டில்) முக்கியமாக காலியம் நைட்ரைடு (GaN) எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி வட்டு, பொதுவாக 1000°C முதல் 1500°C வரையிலான மிக உயர்ந்த செயலாக்க வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இது GaN பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடி மூலக்கூறுகளின் செயலாக்கத்திற்கும் ஏற்றதாக அமைகிறது.

சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது வெப்பநிலை சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த, வெப்பமூட்டும் மூலத்தால் உருவாகும் வெப்பத்தை SiC அடி மூலக்கூறுக்கு சமமாக மாற்ற SiC epi susceptor நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். சிலிக்கான் கார்பைடு மிக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது (சுமார் 120-150 W/mK), மற்றும் SiC எபி சஸ்செப்டரில் உள்ள GaN சிலிக்கான் போன்ற பாரம்பரிய பொருட்களை விட வெப்பத்தை மிகவும் திறம்பட நடத்தும். இந்த அம்சம் காலியம் நைட்ரைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் முக்கியமானது, ஏனெனில் இது அடி மூலக்கூறின் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை பராமரிக்க உதவுகிறது, இதன் மூலம் படத்தின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

மாசுபடுவதைத் தடுக்கவும்: SiC எபி சஸ்செப்டரில் உள்ள GaN இன் பொருட்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு சிகிச்சை செயல்முறை வளர்ச்சி சூழலின் மாசுபாட்டைத் தடுக்கவும் மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கில் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தவிர்க்கவும் முடியும்.

ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளராகSiC எபி ஏற்பியில் GaN, நுண்துளை கிராஃபைட்மற்றும்TaC பூச்சு தட்டுசீனாவில், VeTek செமிகண்டக்டர் எப்போதும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை வழங்குவதை வலியுறுத்துகிறது, மேலும் தொழில்துறைக்கு சிறந்த தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதில் உறுதியாக உள்ளது. உங்கள் ஆலோசனை மற்றும் ஒத்துழைப்பை நாங்கள் உண்மையாக எதிர்பார்க்கிறோம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

SiC எபி சசெப்டர் தயாரிப்பு கடைகளில் GaN:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்：