SiC எபி ஏற்பியில் GaN

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் SiC epi susceptor, CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TAC COATING கிராஃபைட் சசெப்டர் ஆகியவற்றில் GaN இன் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். அவற்றில், SiC எபி சசெப்டரில் உள்ள GaN குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை செயலாக்க திறன் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் மூலம், இது GaN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் உயர் செயல்திறன் மற்றும் பொருள் தரத்தை உறுதி செய்கிறது. உங்களின் மேலான ஆலோசனையை நாங்கள் உண்மையாக எதிர்நோக்குகிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

ஒரு நிபுணராககுறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்சீனாவில்,VeTek செமிகண்டக்டர் SiC எபி ஏற்பியில் GaNதயாரிப்பு செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்SiC இல் GaNசாதனங்கள், மற்றும் அதன் செயல்திறன் நேரடியாக எபிடாக்சியல் லேயரின் தரத்தை பாதிக்கிறது. பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ், RF சாதனங்கள் மற்றும் பிற துறைகளில் SiC சாதனங்களில் GaN இன் பரவலான பயன்பாட்டுடன், தேவைகள்SiC எபி ரிசீவர்மேலும் உயரும். VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கான இறுதி தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது, மேலும் உங்கள் ஆலோசனையை வரவேற்கிறது.

பொதுவாக, செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் SiC எபி சசெப்டரில் GaN இன் பாத்திரங்கள் பின்வருமாறு:

Illustration of epitaxial structures of GaN on SiC

● உயர் வெப்பநிலை செயலாக்க திறன்: SiC எபி சசெப்டரில் உள்ள GaN (GaN அடிப்படையிலான சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி வட்டில்) முக்கியமாக காலியம் நைட்ரைடு (GaN) எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில், குறிப்பாக அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி வட்டு, பொதுவாக 1000°C முதல் 1500°C வரையிலான மிக உயர்ந்த செயலாக்க வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இது GaN பொருட்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடி மூலக்கூறுகளின் செயலாக்கத்திற்கும் ஏற்றதாக அமைகிறது.

● சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டின் போது வெப்பநிலை சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த, வெப்பமூட்டும் மூலத்தால் உருவாகும் வெப்பத்தை SiC அடி மூலக்கூறுக்கு சமமாக மாற்ற SiC epi susceptor நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். சிலிக்கான் கார்பைடு மிக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது (சுமார் 120-150 W/mK), மேலும் SiC Epitaxy சஸ்செப்டரில் உள்ள GaN சிலிக்கான் போன்ற பாரம்பரியப் பொருட்களைக் காட்டிலும் மிகவும் திறம்பட வெப்பத்தைக் கடத்தும். இந்த அம்சம் காலியம் நைட்ரைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் முக்கியமானது, ஏனெனில் இது அடி மூலக்கூறின் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை பராமரிக்க உதவுகிறது, இதன் மூலம் படத்தின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

● மாசுபாட்டைத் தடுக்கவும்: SiC Epi susceptor இல் GaN இன் பொருட்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு சிகிச்சை செயல்முறை வளர்ச்சி சூழலின் மாசுபாட்டைத் தடுக்கவும் மற்றும் எபிடாக்சியல் லேயரில் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தவிர்க்கவும் முடியும்.

ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளராகSiC எபி ஏற்பியில் GaN, நுண்துளை கிராஃபைட்மற்றும்TaC பூச்சு தட்டுசீனாவில், VeTek செமிகண்டக்டர் எப்போதும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை வழங்குவதை வலியுறுத்துகிறது, மேலும் தொழில்துறைக்கு சிறந்த தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதில் உறுதியாக உள்ளது. உங்கள் ஆலோசனை மற்றும் ஒத்துழைப்பை நாங்கள் உண்மையாக எதிர்பார்க்கிறோம்.

CVD SIC கோட்டிங் ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
பூச்சு சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
CVD SiC பூச்சு அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTek செமிகண்டக்டர் SiC எபி சசெப்டர் தயாரிப்பு கடைகளில் GaN

GaN on SiC epi susceptor production shops

சூடான குறிச்சொற்கள்: GaN on SiC epi susceptor, சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை