VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் TaC கோட்டிங் ஹீட்டரின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர். இந்த தயாரிப்பு மிக அதிக உருகுநிலையைக் கொண்டுள்ளது (சுமார் 3880°C). TaC கோட்டிங் ஹீட்டரின் உயர் உருகுநிலையானது மிக அதிக வெப்பநிலையில் செயல்பட உதவுகிறது, குறிப்பாக உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்பாட்டில் காலியம் நைட்ரைடு (GaN) எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியில். VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
TaC கோட்டிங் ஹீட்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட வெப்பமூட்டும் உறுப்பு ஆகும். அதன் மேற்பரப்பு டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பொருளால் பூசப்பட்டுள்ளது, இது ஹீட்டருக்கு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் TaC கோட்டிங் ஹீட்டரின் முக்கிய பயன்பாடுகள்:
கேலியம் நைட்ரைடு (GaN) எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது, TaC கோட்டிங் ஹீட்டர் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட உயர் வெப்பநிலை சூழலை வழங்குகிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்கு ஒரு சீரான விகிதத்திலும் உயர் தரத்திலும் அடி மூலக்கூறில் டெபாசிட் செய்யப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. அதன் நிலையான வெப்ப வெளியீடு மெல்லிய படப் பொருட்களின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அடைய உதவுகிறது, இதன் மூலம் சாதனத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.
மேலும், உலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) செயல்பாட்டில், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் TaC பூச்சு வெப்ப கடத்துத்திறன் இணைந்து, TaC கோட்டிங் ஹீட்டர் பொதுவாக எதிர்வினை வாயுவை வெப்பப்படுத்த பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குவதன் மூலம், இது ஊக்குவிக்கிறது. அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் அதன் இரசாயன எதிர்வினை, அதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உயர்தர படத்தை உருவாக்குகிறது.
TaC கோட்டிங் ஹீட்டர் தயாரிப்புகளில் ஒரு தொழில்துறை தலைவராக, VeTek Semiconducto எப்போதும் தயாரிப்பு தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள் மற்றும் திருப்திகரமான தயாரிப்பு விலைகளை ஆதரிக்கிறது. உங்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகள் என்னவாக இருந்தாலும், உங்கள் TaC கோட்டிங் ஹீட்டர் தேவைகளுக்கான சிறந்த தீர்வை நாங்கள் பொருத்துவோம், எந்த நேரத்திலும் உங்கள் ஆலோசனையை எதிர்நோக்குவோம்.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5 ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |