TaC பூச்சு உதிரி பாகம்

VeTek செமிகண்டக்டர்TaC பூச்சு தட்டுபரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்புப் பொருள்குறைக்கடத்திஉற்பத்தி செயல்முறை. அதன் உயர் கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, குறைந்த உராய்வு குணகம் மற்றும் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றுடன் இணைந்து, TaC பூச்சு தட்டு குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தின் பல இணைப்புகளில் ஈடுசெய்ய முடியாத பங்கை வகிக்கிறது.

பொதுவாக, பயன்பாடுகள்TaC பூசப்பட்ட தட்டுகள்குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பின்வருமாறு:

CVD/ALD வளர்ச்சி அடி மூலக்கூறு: TaC பூசப்பட்ட தட்டுகளின் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த உராய்வு குணகம் ஆகியவை சிறந்த CVD/ALD வளர்ச்சி அடி மூலக்கூறுகளாக அமைகின்றன. படத்தின் சீரான தன்மை மற்றும் அடர்த்தியை உறுதி செய்ய இது ஒரு நிலையான வளர்ச்சி சூழலை வழங்க முடியும்.

பொறித்தல் முகமூடி தட்டு: TaC பூசப்பட்ட தகடுகளின் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்ற உயர் ஆற்றல் செயல்முறைகளைத் தாங்கி, முகமூடித் தகடுகளை பொறித்து, அடிப்படைப் படலத்தைப் பாதுகாக்கின்றன.

CMP பாலிஷ் பேட்: TaC பூசப்பட்ட தகடுகளின் உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த உராய்வு குணகம் CMP பாலிஷ் பேட்களுக்கு சிறந்த பொருட்களை உருவாக்குகிறது, இது படத்தின் மேற்பரப்பில் உள்ள துகள்கள் மற்றும் குறைபாடுகளை திறம்பட அகற்றும்.

உயர் வெப்பநிலை உலை குழாய்: TaC பூசப்பட்ட தகடுகளின் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை உயர் வெப்பநிலை அனீலிங், பரவல் மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கு உயர் வெப்பநிலை உலைகளில் உலைக் குழாய்களாகப் பயன்படுத்த உதவுகின்றன.

தயாரிப்பு பண்புகளுடன் இணைந்துTaC பூச்சு தட்டு, சாதனத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துதல், உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டித்தல் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்துதல் ஆகியவற்றில் இந்த தயாரிப்பு ஈடுசெய்ய முடியாத முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது என்பதை இது தீர்மானிக்கிறது. 

ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளராகSiC எபி ஏற்பியில் GaN, நுண்துளை கிராஃபைட்மற்றும்TaC பூச்சு தட்டுசீனாவில், VeTek செமிகண்டக்டர் எப்போதும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை வழங்குவதை வலியுறுத்துகிறது, மேலும் தொழில்துறைக்கு சிறந்த தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதில் உறுதியாக உள்ளது. உங்களின் மேலான ஆலோசனையை நாங்கள் உண்மையாக எதிர்நோக்குகிறோம்.

CVD TAC பூச்சு தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்：

TaC பூச்சு உதிரி பாகங்கள் கடைகள்：

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்：