TaC பூச்சு தட்டு

எங்கள் தொழிற்சாலையில் இருந்து TaC கோட்டிங் பிளேட்டை வாங்குவது உறுதி. எங்கள் TaC கோட்டிங் பிளேட் செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி ரியாக்டரின் முக்கிய பகுதியாக செயல்படுகிறது, இது சிறந்த எபிடாக்சியல் லேயர் மகசூல் மற்றும் வளர்ச்சித் திறனுக்கு உதவுகிறது. தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்தவும்.

உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) மூலம் மூன்றாவது முக்கிய குழு நைட்ரைடு எபிடாக்சியல் ஷீட் (GaN) தயாரிப்பது மற்றும் இரசாயன நீராவி மூலம் SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிப் படங்களைத் தயாரிப்பது போன்ற கடுமையான மற்றும் கடுமையான தயாரிப்பு சூழல்களுடன் புதிய குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்திக்கு படிவு (CVD) உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் H2 மற்றும் NH3 போன்ற வாயுக்களால் அரிக்கப்படுகிறது. தற்போதுள்ள வளர்ச்சி கேரியர்கள் அல்லது வாயு சேனல்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள SiC மற்றும் BN பாதுகாப்பு அடுக்குகள் இரசாயன எதிர்வினைகளில் ஈடுபடுவதால் தோல்வியடையும், இது படிகங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகள் போன்ற பொருட்களின் தரத்தை மோசமாக பாதிக்கிறது. எனவே, படிகங்கள், குறைக்கடத்திகள் மற்றும் பிற பொருட்களின் தரத்தை மேம்படுத்த ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்காக சிறந்த இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்ட ஒரு பொருளைக் கண்டுபிடிப்பது அவசியம். டான்டலம் கார்பைடு சிறந்த இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, ஏனெனில் வலுவான இரசாயன பிணைப்புகளின் பங்கு, அதன் உயர் வெப்பநிலை இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு SiC, BN போன்றவற்றை விட அதிகமாக உள்ளது .

VeTek செமிகண்டக்டர் மேம்பட்ட உற்பத்தி உபகரணங்கள் மற்றும் சரியான தர மேலாண்மை அமைப்பு, செயல்திறன் நிலைத்தன்மையின் தொகுதிகளில் TaC பூச்சுகளை உறுதி செய்வதற்கான கடுமையான செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு, நிறுவனம் பெரிய அளவிலான உற்பத்தி திறனைக் கொண்டுள்ளது, பெரிய அளவிலான விநியோகத்தில் வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய, சரியான தர கண்காணிப்பு. ஒவ்வொரு பொருளின் தரத்தையும் நிலையானதாகவும் நம்பகமானதாகவும் உறுதி செய்வதற்கான வழிமுறை.

TaC பூச்சு தட்டின் தயாரிப்பு அளவுரு:

தொழில்துறை சங்கிலி:

உற்பத்தி கடை