CVD TAC பூச்சு

CVD TaC பூச்சு (ரசாயன நீராவி படிவு டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு) என்பது முக்கியமாக டான்டலம் கார்பைடு (TaC) கொண்ட ஒரு பூச்சு தயாரிப்பு ஆகும். TaC பூச்சு மிக அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது முக்கிய உபகரணங்களின் கூறுகளைப் பாதுகாப்பதற்கும் செயல்முறை நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கும் சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத பொருள்.

CVD TaC பூச்சு தயாரிப்புகள் பொதுவாக எதிர்வினை அறைகள், செதில் கேரியர்கள் மற்றும் பொறிக்கும் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அவற்றில் பின்வரும் முக்கிய பாத்திரங்களை வகிக்கின்றன.

CVD TaC பூச்சு பெரும்பாலும் அடி மூலக்கூறுகள், சுவர் பேனல்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகள் போன்ற எதிர்வினை அறைகளின் உள் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்புடன் இணைந்து, அதிக வெப்பநிலை, அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்க முடியும், இதன் மூலம் சாதனங்களின் சேவை வாழ்க்கையை திறம்பட நீட்டித்து, செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் தயாரிப்பு உற்பத்தியின் தூய்மையையும் உறுதி செய்கிறது.

கூடுதலாக, TaC- பூசப்பட்ட செதில் கேரியர்கள் (குவார்ட்ஸ் படகுகள், சாதனங்கள் போன்றவை) சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளன. வேஃபர் கேரியர் அதிக வெப்பநிலையில் செதில்களுக்கு நம்பகமான ஆதரவை வழங்க முடியும், செதில் மாசுபடுதல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்கிறது, இதனால் ஒட்டுமொத்த சிப் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

மேலும், VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு பிளாஸ்மா எட்சர்கள், இரசாயன நீராவி படிவு அமைப்புகள் போன்ற பல்வேறு செதுக்கல் மற்றும் மெல்லிய பட படிவு கருவிகளிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த செயலாக்க அமைப்புகளில், CVD TAC பூச்சு உயர் ஆற்றல் அயனி குண்டுவீச்சு மற்றும் வலுவான இரசாயன எதிர்வினைகளைத் தாங்கும். , இதன் மூலம் செயல்பாட்டின் துல்லியம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

உங்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகள் எதுவாக இருந்தாலும், உங்களின் CVD TAC கோட்டிங் தேவைகளுக்கான சிறந்த தீர்வை நாங்கள் பொருத்துவோம் மற்றும் எந்த நேரத்திலும் உங்கள் ஆலோசனையை எதிர்நோக்குவோம்.

CVD TAC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

VeTek செமிகண்டக்டர் CVD TAC பூச்சு பொருட்கள் கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: