VeTek செமிகண்டக்டரின் தனித்துவமான கார்பைடு பூச்சுகள் SiC Epitaxy செயல்முறையில் உள்ள கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி மற்றும் கலப்பு குறைக்கடத்தி பொருட்களை செயலாக்குவதற்கான சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. இதன் விளைவாக நீட்டிக்கப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆயுள், எதிர்வினை ஸ்டோச்சியோமெட்ரியைப் பாதுகாத்தல், எபிடாக்ஸி மற்றும் படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வுகளைத் தடுப்பது, இதன் விளைவாக மகசூல் மற்றும் தரம் அதிகரிக்கிறது.
எங்களின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் வெப்பமான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் நீராவிகள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களிலிருந்து அதிக வெப்பநிலையில் (2200°C வரை) முக்கியமான உலை மற்றும் உலைக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கின்றன. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பரந்த அளவிலான கிராஃபைட் செயலாக்கம் மற்றும் அளவீட்டு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, எனவே நாங்கள் உங்களுக்கும் உங்கள் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டிற்கும் சரியான தீர்வை வடிவமைக்கத் தயாராக உள்ள எங்கள் நிபுணர் பொறியாளர்கள் குழுவுடன் கட்டணம் செலுத்தும் பூச்சு அல்லது முழு சேவையை வழங்க முடியும். .
கூட்டு குறைக்கடத்தி படிகங்கள்
VeTek செமிகண்டக்டர் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு TaC பூச்சுகளை வழங்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டரின் தொழில்துறை முன்னணி பூச்சு செயல்முறையின் மூலம், TaC பூச்சு அதிக தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைப் பெறலாம், இதன் மூலம் படிக TaC/GaN) மற்றும் EPl அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் முக்கியமான உலை கூறுகளின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது.
வெப்ப இன்சுலேட்டர்கள்
SiC, GaN மற்றும் AlN படிக வளர்ச்சி கூறுகள், க்ரூசிபிள்கள், விதை வைத்திருப்பவர்கள், டிஃப்ளெக்டர்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள். மின்தடை வெப்பமூட்டும் கூறுகள், முனைகள், கவச வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் சாதனங்கள், GaN மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் CVD உலை கூறுகள், செதில் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் தட்டுகள், ஷவர் ஹெட்ஸ், தொப்பிகள் மற்றும் பீடங்கள், MOCVD கூறுகள் உள்ளிட்ட தொழில்துறை கூட்டங்கள்.
LED(ஒளி உமிழும் டையோடு) வேஃபர் கேரியர்
ALD(செமிகண்டக்டர்) ரிசீவர்
EPI ஏற்பி (SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை)
TaC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் சஸ்பெப்டர் TaC பூச்சு சஸ்பெப்டர்&ரிங் TaC பூச்சு பாகங்கள் TaC பூச்சு கொண்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள்
SiC | TaC | |
முக்கிய அம்சங்கள் | அல்ட்ரா உயர் தூய்மை, சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு | சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை இணக்கம்) |
தூய்மை | >99.9999% | >99.9999% |
அடர்த்தி (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
கடினத்தன்மை (கிலோ/மிமீ 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
எதிர்ப்பாற்றல் [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் (W/m-K) | 200-360 | 22 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்(10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
விண்ணப்பம் | செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் செராமிக் ஜிக்(ஃபோகஸ் ரிங், ஷவர் ஹெட், டம்மி வேஃபர்) | SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, Epi, UV LED உபகரண பாகங்கள் |
VeTek செமிகண்டக்டரால் வழங்கப்படும் CVD TaC பூச்சு அட்டையானது, தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த கூறு ஆகும். அதன் மேம்பட்ட அம்சங்கள் மற்றும் விதிவிலக்கான செயல்திறனுடன், எங்கள் CVD TaC கோட்டிங் கவர் பல முக்கிய நன்மைகளை வழங்குகிறது. எங்கள் CVD TaC பூச்சு அட்டையானது வெற்றிக்குத் தேவையான பாதுகாப்பையும் செயல்திறனையும் வழங்குகிறது. உங்களுடன் சாத்தியமான ஒத்துழைப்பை ஆராய்வதை நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்!
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர்'TaC கோட்டிங் பிளானட்டரி சஸ்பெப்டர் என்பது Aixtron epitaxy உபகரணங்களுக்கான ஒரு விதிவிலக்கான தயாரிப்பு ஆகும். வலுவான TaC பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த தனித்துவமான கலவையானது நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, கோரும் சூழலில் கூட உறுதி செய்கிறது. VeTek உயர்தர தயாரிப்புகளை வழங்குவதற்கும், போட்டி விலையுடன் சீன சந்தையில் நீண்ட கால பங்காளியாக சேவை செய்வதற்கும் உறுதிபூண்டுள்ளது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோட்டிங் பீடஸ்டல் சப்போர்ட் பிளேட் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் துல்லியமான தயாரிப்பு ஆகும். அதன் TaC பூச்சு, உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றுடன், எங்கள் தயாரிப்பு உயர் தரத்துடன் உயர்தர EPI அடுக்குகளை உருவாக்க உங்களுக்கு அதிகாரம் அளிக்கிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்குவதற்கு நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு சக் உயர்தர TaC பூச்சுகளைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்ஸி (EPI) செயல்முறைகளில் அதன் சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மைக்கு பெயர் பெற்றது. அதன் விதிவிலக்கான அம்சங்கள் மற்றும் சிறந்த செயல்திறனுடன், எங்கள் TaC கோட்டிங் சக் பல முக்கிய நன்மைகளை வழங்குகிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்க நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் LPE SiC Epi Halfmoon, LPE உலை SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளை உயர்த்த வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு புரட்சிகர தயாரிப்பு. இந்த அதிநவீன தீர்வு உங்கள் உற்பத்தி செயல்பாடுகள் முழுவதிலும் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்யும் பல முக்கிய அம்சங்களைக் கொண்டுள்ளது. உங்களுடன் நீண்ட கால ஒத்துழைப்பை அமைப்பதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர், டான்டலம் கார்பைடு TaC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூனுக்கு சீனாவில் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும், நாங்கள் R&D மற்றும் உற்பத்தியில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம், தரத்தை நன்கு கட்டுப்படுத்தலாம் மற்றும் போட்டி விலையை வழங்க முடியும். நீண்ட கால ஒத்துழைப்பைப் பற்றிய கூடுதல் கலந்துரையாடலுக்காக எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு