TaC பூச்சு பீட ஆதரவு தட்டு

VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோட்டிங் பீடஸ்டல் சப்போர்ட் பிளேட் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் துல்லியமான தயாரிப்பு ஆகும். அதன் TaC பூச்சு, உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றுடன், எங்கள் தயாரிப்பு உயர் தரத்துடன் உயர்தர EPI அடுக்குகளை உருவாக்க உங்களுக்கு அதிகாரம் அளிக்கிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்குவதற்கு நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவின் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும், அவர் முக்கியமாக CVD TaC பூச்சு சஸ்செப்டர்கள், இன்லெட் ரிங், வேஃபர் சங்க், TaC பூசப்பட்ட ஹோல்டர், TaC கோட்டிங் பீடஸ்டல் சப்போர்ட் பிளேட் ஆகியவற்றை பல வருட அனுபவத்துடன் தயாரிக்கிறார். உங்களுடன் வணிக உறவை உருவாக்க நம்புகிறேன்.

TaC மட்பாண்டங்கள் 3880℃ வரை உருகும் புள்ளி, அதிக கடினத்தன்மை (Mohs கடினத்தன்மை 9 ~ 10), பெரிய வெப்ப கடத்துத்திறன் (22W·m-1·K−1), பெரிய வளைக்கும் வலிமை (340 ~ 400MPa) மற்றும் சிறிய வெப்ப விரிவாக்கம் குணகம் (6.6×10−6K−1), மற்றும் சிறந்த வெப்ப வேதியியல் நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகளைக் காட்டுகிறது. இது கிராஃபைட் மற்றும் C/C கலவைப் பொருட்களுடன் நல்ல இரசாயன மற்றும் இயந்திர இணக்கத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, எனவே TaC பூச்சு விண்வெளி வெப்ப பாதுகாப்பு, ஒற்றை படிக வளர்ச்சி மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் Aixtron, LPE EPI உலை போன்ற எபிடாக்சியல் உலைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வெற்று கல் மை அல்லது SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டை விட சிறந்த இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, 2200 ° உயர் வெப்பநிலையில் நிலையானதாகப் பயன்படுத்தலாம், பல உலோக உறுப்புகளுடன் வினைபுரியாது, இது மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, எபிடாக்ஸி மற்றும் செதில் பொறித்தல் காட்சி ஆகும். சிறந்த செயல்திறன் பூச்சு, வெப்பநிலை மற்றும் தூய்மையற்ற கட்டுப்பாட்டு செயல்முறையை கணிசமாக மேம்படுத்த முடியும், உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு செதில்கள் மற்றும் தொடர்புடைய எபிடாக்சியல் செதில்கள் தயாரித்தல். MOCVD உபகரணங்களில் GaN அல்லது AlN ஒற்றைப் படிகத்தையும் PVT உபகரணங்களில் SiC ஒற்றைப் படிகத்தையும் வளர்ப்பதற்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது, மேலும் வளர்க்கப்படும் ஒற்றைப் படிகத்தின் தரம் வெளிப்படையாக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது.

TaC பூச்சு மற்றும் SiC பூச்சு உதிரி பாகங்கள் நாம் செய்யலாம்:

TaC பூச்சு அளவுரு:

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்
அடர்த்தி	14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு	0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	6.3 10-6/கே
கடினத்தன்மை (HK)	2000 எச்.கே
எதிர்ப்பு	1×10-5 ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது	-10~-20um
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)