VeTek செமிகண்டக்டர்'TaC கோட்டிங் பிளானட்டரி சஸ்பெப்டர் என்பது Aixtron epitaxy உபகரணங்களுக்கான ஒரு விதிவிலக்கான தயாரிப்பு ஆகும். வலுவான TaC பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த தனித்துவமான கலவையானது நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, கோரும் சூழலில் கூட உறுதி செய்கிறது. VeTek உயர்தர தயாரிப்புகளை வழங்குவதற்கும், போட்டி விலையுடன் சீன சந்தையில் நீண்ட கால பங்காளியாக சேவை செய்வதற்கும் உறுதிபூண்டுள்ளது.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி துறையில், TaC பூச்சு கிரக சஸ்பெப்டர் ஒரு முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. Aixtron G5 அமைப்பு போன்ற உபகரணங்களில் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் வளர்ச்சியில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மேலும், SiC எபிடாக்ஸிக்கான டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு படிவுகளில் வெளிப்புற வட்டாகப் பயன்படுத்தப்படும்போது, TaC பூச்சு கிரக சஸ்பெப்டர் அத்தியாவசிய ஆதரவையும் நிலைத்தன்மையையும் வழங்குகிறது. இது டான்டலம் கார்பைடு அடுக்கின் சீரான படிவுகளை உறுதி செய்கிறது, சிறந்த மேற்பரப்பு உருவவியல் மற்றும் விரும்பிய பட தடிமன் கொண்ட உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை உருவாக்குவதற்கு பங்களிக்கிறது. TaC பூச்சுகளின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை தேவையற்ற எதிர்வினைகள் மற்றும் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது, எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது மற்றும் அவற்றின் உயர்ந்த தரத்தை உறுதி செய்கிறது.
TaC பூச்சுகளின் விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன் திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை செயல்படுத்துகிறது, சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை ஊக்குவிக்கிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது வெப்ப அழுத்தத்தை குறைக்கிறது. இது மேம்பட்ட படிக பண்புகள் மற்றும் மேம்பட்ட மின் கடத்துத்திறன் கொண்ட உயர்தர SiC எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை உருவாக்குகிறது.
TaC கோட்டிங் பிளானட்டரி டிஸ்கின் துல்லியமான பரிமாணங்கள் மற்றும் உறுதியான கட்டுமானமானது, ஏற்கனவே உள்ள அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைப்பதை எளிதாக்குகிறது, தடையற்ற இணக்கத்தன்மை மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. அதன் நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் உயர்தர TaC பூச்சு SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளில் நிலையான மற்றும் சீரான முடிவுகளுக்கு பங்களிக்கிறது.
SiC epitaxy இல் விதிவிலக்கான செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மைக்கு VeTek செமிகண்டக்டர் மற்றும் எங்கள் TaC கோட்டிங் பிளானட்டரி டிஸ்க்கை நம்புங்கள். எங்கள் புதுமையான தீர்வுகளின் நன்மைகளை அனுபவிக்கவும், குறைக்கடத்தி துறையில் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றங்களில் உங்களை முன்னணியில் நிலைநிறுத்தவும்.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5 ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |