TaC பூச்சு சக்

VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோட்டிங் சக் என்பது SiC EPI செயல்பாட்டில் விதிவிலக்கான முடிவுகளை அடைவதற்கான சிறந்த தீர்வாகும். அதன் TaC பூச்சு, உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றுடன், எங்கள் தயாரிப்பு துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையுடன் உயர்தர படிகங்களை உருவாக்க உங்களுக்கு அதிகாரம் அளிக்கிறது. எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

TaC (டான்டலம் கார்பைடு) என்பது எபிடாக்சியல் உபகரணங்களின் உள் பகுதிகளின் மேற்பரப்பை பூசுவதற்கு பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு பொருள். இது பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

● சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: TaC பூச்சுகள் 2200°C வரையிலான வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இது எபிடாக்சியல் எதிர்வினை அறைகள் போன்ற உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக இருக்கும்.

● அதிக கடினத்தன்மை: TaC இன் கடினத்தன்மை சுமார் 2000 HK ஐ அடைகிறது, இது பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் துருப்பிடிக்காத எஃகு அல்லது அலுமினிய கலவையை விட மிகவும் கடினமானது, இது மேற்பரப்பு தேய்மானத்தை திறம்பட தடுக்கும்.

● வலுவான இரசாயன நிலைத்தன்மை: TaC பூச்சு வேதியியல் ரீதியாக அரிக்கும் சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்படுகிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் உபகரண கூறுகளின் சேவை ஆயுளை பெரிதும் நீட்டிக்க முடியும்.

● நல்ல மின் கடத்துத்திறன்: TaC பூச்சு நல்ல மின் கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இது மின்னியல் வெளியீடு மற்றும் வெப்பக் கடத்தலுக்கு உகந்தது.

இந்த பண்புகள், உள் புஷிங்ஸ், ரியாக்ஷன் சேம்பர் சுவர்கள் மற்றும் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களுக்கான வெப்பமூட்டும் கூறுகள் போன்ற முக்கியமான பாகங்களை தயாரிப்பதற்கு TaC பூச்சு ஒரு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது. இந்த கூறுகளை TaC உடன் பூசுவதன் மூலம், எபிடாக்சியல் உபகரணங்களின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்தலாம்.

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸிக்கு, TaC பூச்சு துண்டிப்பும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. TaC இன் மேற்பரப்பு பூச்சு மென்மையானது மற்றும் அடர்த்தியானது, இது உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு படங்களின் உருவாக்கத்திற்கு உகந்ததாகும். அதே நேரத்தில், TaC இன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உபகரணங்களுக்குள் வெப்பநிலை விநியோகத்தின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது, மேலும் இறுதியில் உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை அடைய முடியும்.