VeTek செமிகண்டக்டரின் தனித்துவமான கார்பைடு பூச்சுகள் SiC Epitaxy செயல்முறையில் உள்ள கிராஃபைட் பாகங்களுக்கு தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி மற்றும் கலப்பு குறைக்கடத்தி பொருட்களை செயலாக்குவதற்கான சிறந்த பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. இதன் விளைவாக நீட்டிக்கப்பட்ட கிராஃபைட் கூறு ஆயுள், எதிர்வினை ஸ்டோச்சியோமெட்ரியைப் பாதுகாத்தல், எபிடாக்ஸி மற்றும் படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளுக்கு தூய்மையற்ற இடம்பெயர்வுகளைத் தடுப்பது, இதன் விளைவாக மகசூல் மற்றும் தரம் அதிகரிக்கிறது.
எங்களின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள் வெப்பமான அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் நீராவிகள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களிலிருந்து அதிக வெப்பநிலையில் (2200°C வரை) முக்கியமான உலை மற்றும் உலைக் கூறுகளைப் பாதுகாக்கின்றன. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய பரந்த அளவிலான கிராஃபைட் செயலாக்கம் மற்றும் அளவீட்டு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, எனவே நாங்கள் உங்களுக்கும் உங்கள் குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டிற்கும் சரியான தீர்வை வடிவமைக்கத் தயாராக உள்ள எங்கள் நிபுணர் பொறியாளர்கள் குழுவுடன் கட்டணம் செலுத்தும் பூச்சு அல்லது முழு சேவையை வழங்க முடியும். .
கூட்டு குறைக்கடத்தி படிகங்கள்
VeTek செமிகண்டக்டர் பல்வேறு கூறுகள் மற்றும் கேரியர்களுக்கு சிறப்பு TaC பூச்சுகளை வழங்க முடியும். VeTek செமிகண்டக்டரின் தொழில்துறை முன்னணி பூச்சு செயல்முறையின் மூலம், TaC பூச்சு அதிக தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைப் பெறலாம், இதன் மூலம் படிக TaC/GaN) மற்றும் EPl அடுக்குகளின் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் முக்கியமான உலை கூறுகளின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது.
வெப்ப இன்சுலேட்டர்கள்
SiC, GaN மற்றும் AlN படிக வளர்ச்சி கூறுகள், க்ரூசிபிள்கள், விதை வைத்திருப்பவர்கள், டிஃப்ளெக்டர்கள் மற்றும் வடிகட்டிகள். மின்தடை வெப்பமூட்டும் கூறுகள், முனைகள், கவச வளையங்கள் மற்றும் பிரேசிங் சாதனங்கள், GaN மற்றும் SiC எபிடாக்சியல் CVD உலை கூறுகள், செதில் கேரியர்கள், செயற்கைக்கோள் தட்டுகள், ஷவர் ஹெட்ஸ், தொப்பிகள் மற்றும் பீடங்கள், MOCVD கூறுகள் உள்ளிட்ட தொழில்துறை கூட்டங்கள்.
LED(ஒளி உமிழும் டையோடு) வேஃபர் கேரியர்
ALD(செமிகண்டக்டர்) ரிசீவர்
EPI ஏற்பி (SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை)
TaC பூசப்பட்ட செயற்கைக்கோள் சஸ்பெப்டர் TaC பூச்சு சஸ்பெப்டர்&ரிங் TaC பூச்சு பாகங்கள் TaC பூச்சு கொண்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள்
SiC | TaC | |
முக்கிய அம்சங்கள் | அல்ட்ரா உயர் தூய்மை, சிறந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு | சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை (உயர் வெப்பநிலை செயல்முறை இணக்கம்) |
தூய்மை | >99.9999% | >99.9999% |
அடர்த்தி (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
கடினத்தன்மை (கிலோ/மிமீ 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
எதிர்ப்பாற்றல் [Ωcm] | 0.1-15,000 | <1 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் (W/m-K) | 200-360 | 22 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்(10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
விண்ணப்பம் | செமிகண்டக்டர் உபகரணங்கள் செராமிக் ஜிக்(ஃபோகஸ் ரிங், ஷவர் ஹெட், டம்மி வேஃபர்) | SiC ஒற்றை படிக வளர்ச்சி, Epi, UV LED உபகரண பாகங்கள் |
VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி TaC பூசப்பட்ட மூன்று-இதழ் வளைய உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக TaC மற்றும் SiC பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக வலிமை கொண்டவை. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சக் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் புதுமைப்பித்தன் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக TaC பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் 2000℃ வரை அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. உங்களின் நீண்டகாலமாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம். சீனாவில் பங்குதாரர்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கவர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக TaC மற்றும் SiC பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக வலிமை கொண்டவை. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு அட்டையின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர். உயர்-தூய்மை, உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு டான்டலம் கார்பைடு தயாரிப்புகளை வழங்குவதில் நாங்கள் கவனம் செலுத்துகிறோம். எங்கள் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கவர் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் பொருட்களை திறம்பட பாதுகாக்க முடியும். சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோடட் டிஃப்ளெக்டர் ரிங் என்பது SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த கூறு ஆகும். படிக வளர்ச்சியின் போது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களை சமாளிக்க TaC பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வழங்குகிறது. இது நிலையான செயல்திறன் மற்றும் கூறுகளின் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்கிறது, மாற்று மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்குவதற்கு நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் SiC எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான பெரிய அளவிலான TaC பூசப்பட்ட வளையமாகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக TaC பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அதிக தூய்மை, உயர் நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக பிணைப்பு வலிமை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாற முன்னோக்கி.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு