VeTek செமிகண்டக்டர், டான்டலம் கார்பைடு TaC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூனுக்கு சீனாவில் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும், நாங்கள் R&D மற்றும் உற்பத்தியில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம், தரத்தை நன்கு கட்டுப்படுத்தலாம் மற்றும் போட்டி விலையை வழங்க முடியும். நீண்ட கால ஒத்துழைப்பைப் பற்றிய கூடுதல் கலந்துரையாடலுக்காக எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சைனா டான்டலம் கார்பைடு TaC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர். VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு TaC கோடட் ஹாஃப்மூனை வழங்குகிறது, இது சிலிக்கான் கார்பைட்டின் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் துணை மற்றும் போக்குவரத்துப் பாத்திரத்தை வகிக்கிறது, இது அடி மூலக்கூறுக்கு ஆதரவளிப்பது மட்டுமல்லாமல், ஒரு தட்டையான அடித்தளத்தையும் வழங்குகிறது, இது எபிடாக்ஸி ஒரே சீராக வளர அனுமதிக்கிறது.
அரை நிலவு பகுதியின் தரம் மற்றும் செயல்திறன் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டின் போது செதில்களின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. எனவே, SiC எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் வெற்றிக்கு பொருத்தமான அரைநிலவு பகுதியை வடிவமைத்து தேர்ந்தெடுப்பது மிகவும் முக்கியமானது. VeTek செமிகண்டக்டரால் தயாரிக்கப்பட்ட டான்டலம் கார்பைடு TaC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் அதன் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது, வளர்ச்சி செயல்முறையின் போது அரை நிலவு கூறுகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது.
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5 ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
1.உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு
2.உயர் அரிப்பு எதிர்ப்பு
3.அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு
4.நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன்
5.நல்ல இரசாயன செயலற்ற தன்மை