CVD TaC பூச்சு கேரியர்

VeTek செமிகண்டக்டரின் CVD TaC கோட்டிங் கேரியர் முக்கியமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. CVD TaC கோட்டிங் கேரியரின் அல்ட்ரா-உயர் உருகுநிலை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் செயல்முறையில் இந்த தயாரிப்பின் இன்றியமையாமையை தீர்மானிக்கிறது. உங்களுடன் நீண்ட கால வணிக உறவை உருவாக்க நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை முன்னணி சீனா CVD TaC கோட்டிங் கேரியர், EPITAXY SUSCEPTOR,TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ரிசீவர்உற்பத்தியாளர்.

தொடர்ச்சியான செயல்முறை மற்றும் பொருள் கண்டுபிடிப்பு ஆராய்ச்சியின் மூலம், Vetek செமிகண்டக்டரின் CVD TaC பூச்சு கேரியர் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் மிக முக்கியமான பங்கை வகிக்கிறது, முக்கியமாக பின்வரும் அம்சங்களை உள்ளடக்கியது:

அடி மூலக்கூறு பாதுகாப்பு: CVD TaC பூச்சு கேரியர் சிறந்த இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் அடி மூலக்கூறு மற்றும் அணு உலையின் உள் சுவரை அரிப்பதைத் திறம்பட தடுக்கிறது, செயல்முறை சூழலின் தூய்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

வெப்ப சீரான தன்மை: CVD TaC பூச்சு கேரியரின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறனுடன் இணைந்து, உலைக்குள் வெப்பநிலை விநியோகத்தின் சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது, எபிடாக்சியல் அடுக்கின் படிக தரம் மற்றும் தடிமன் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் இறுதி தயாரிப்பின் செயல்திறன் நிலைத்தன்மையை அதிகரிக்கிறது.

துகள் மாசு கட்டுப்பாடு: CVD TaC பூசப்பட்ட கேரியர்கள் மிகக் குறைந்த துகள் உற்பத்தி விகிதங்களைக் கொண்டிருப்பதால், மென்மையான மேற்பரப்பு பண்புகள் துகள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் கணிசமாகக் குறைக்கின்றன, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது தூய்மை மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

நீட்டிக்கப்பட்ட உபகரண ஆயுள்: CVD TaC பூச்சு கேரியரின் சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புடன் இணைந்து, இது வினைத்திறன் அறை கூறுகளின் சேவை ஆயுளை கணிசமாக நீட்டிக்கிறது, உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகளை குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

மேற்கூறிய குணாதிசயங்களை இணைத்து, VeTek செமிகண்டக்டரின் CVD TaC கோட்டிங் கேரியர், செயல்முறையின் நம்பகத்தன்மை மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் உற்பத்தியின் தரத்தை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான செலவு குறைந்த தீர்வையும் வழங்குகிறது.

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு:

Tantalum carbide coating on a microscopic cross section picture

CVD TaC பூச்சு கேரியரின் இயற்பியல் பண்புகள்:

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்
அடர்த்தி	14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு	0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	6.3*10^-6/கே
கடினத்தன்மை (HK)	2000 எச்.கே
எதிர்ப்பு	1×10^-5ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது	-10~-20um
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)