TaC பூச்சு சஸ்பெப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் மற்றும் ரிங் ஆகியவை LPE சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலையில் ஒன்றாக வேலை செய்கின்றன:

உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: TaC பூச்சு சஸ்செப்டர் சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, LPE அணுஉலையில் 1500°C வரையிலான தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது. நீண்ட கால செயல்பாட்டின் போது உபகரணங்கள் மற்றும் கூறுகள் சிதைக்கப்படாமல் அல்லது சேதமடையாமல் இருப்பதை இது உறுதி செய்கிறது.

இரசாயன நிலைப்புத்தன்மை: TaC பூச்சு சஸ்செப்டர் அரிக்கும் சிலிக்கான் கார்பைடு வளர்ச்சி சூழலில் விதிவிலக்காக சிறப்பாக செயல்படுகிறது, அரிக்கும் இரசாயன தாக்குதலில் இருந்து உலை கூறுகளை திறம்பட பாதுகாக்கிறது, அதன் மூலம் அவற்றின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

வெப்ப நிலைத்தன்மை: TaC பூச்சு சஸ்செப்டர் நல்ல வெப்ப நிலைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, உலையில் வெப்பநிலைப் புலத்தின் சீரான தன்மையை உறுதிப்படுத்த மேற்பரப்பு உருவவியல் மற்றும் கடினத்தன்மையை பராமரிக்கிறது, இது சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் உயர்தர வளர்ச்சிக்கு நன்மை பயக்கும்.

மாசு எதிர்ப்பு: மென்மையான TaC பூசப்பட்ட மேற்பரப்பு மற்றும் உயர்ந்த TPD (வெப்பநிலை திட்டமிடப்பட்ட சிதைவு) செயல்திறன் அணு உலைக்குள் துகள்கள் மற்றும் அசுத்தங்களின் குவிப்பு மற்றும் உறிஞ்சுதலைக் குறைக்கும், எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை மாசுபடுத்துவதைத் தடுக்கிறது.

சுருக்கமாக, எல்பிஇ சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலையில் TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் மற்றும் வளையம் ஒரு முக்கிய பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்கிறது, இது உபகரணங்களின் நீண்ட கால நிலையான செயல்பாட்டையும், எபிடாக்சியல் அடுக்குகளின் உயர்தர வளர்ச்சியையும் உறுதி செய்கிறது.

TaC பூச்சு சஸ்பெப்டரின் தயாரிப்பு அளவுரு:

தொழில்துறை சங்கிலி:

உற்பத்தி கடை