CVD TaC பூச்சு க்ரூசிபிள்

CVD மற்றும் MBE போன்ற உயர் வெப்பநிலை படிவு செயல்முறைகளில் TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, மேலும் இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில் செயலாக்கத்திற்கான ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அவற்றில்,TaC பூச்சுசிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில் செயலாக்கத்தின் போது அதிக துல்லியம் மற்றும் உயர் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

CVD TaC பூச்சு குரூசிபிள் பொதுவாக TaC பூச்சு மற்றும் கொண்டுள்ளதுகிராஃபைட்அடி மூலக்கூறு. அவற்றில், TaC என்பது 3880°C வரை உருகும் புள்ளியுடன் கூடிய உயர் உருகுநிலை பீங்கான் பொருளாகும். இது மிக அதிக கடினத்தன்மை (2000 HV வரை விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை), இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் வலுவான ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. எனவே, TaC பூச்சு குறைக்கடத்தி செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தில் ஒரு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு பொருள்.

கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் (வெப்ப கடத்துத்திறன் சுமார் 21 W/m·K) மற்றும் சிறந்த இயந்திர நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இந்த பண்பு கிராஃபைட் ஒரு சிறந்த பூச்சாக மாறும் என்பதை தீர்மானிக்கிறதுஅடி மூலக்கூறு.

CVD TaC பூச்சு குரூசிபிள் முக்கியமாக பின்வரும் குறைக்கடத்தி செயலாக்க தொழில்நுட்பங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

செதில் உற்பத்தி: VeTek செமிகண்டக்டர் CVD TaC பூச்சு குரூசிபிள் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு (3880°C வரை உருகும் புள்ளி) மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, எனவே இது பெரும்பாலும் உயர் வெப்பநிலை நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்ற முக்கிய செதில் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதி-உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் தயாரிப்பின் சிறந்த கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மையுடன் இணைந்து, கருவிகள் மிகக் கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் நீண்ட நேரம் நிலையாக செயல்படுவதை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் செதில்களின் உற்பத்தித் திறன் மற்றும் தரத்தை திறம்பட மேம்படுத்துகிறது.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறை: போன்ற எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில்இரசாயன நீராவி படிவு (CVD)மற்றும் மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி (MBE), CVD TaC கோட்டிங் க்ரூசிபிள் சுமந்து செல்வதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதன் TaC பூச்சு தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வளிமண்டலத்தின் கீழ் பொருளின் உயர் தூய்மையை பராமரிப்பது மட்டுமல்லாமல், பொருளின் மீது எதிர்வினைகள் மாசுபடுவதையும், உலை அரிப்பைத் தடுக்கிறது, உற்பத்தி செயல்முறை மற்றும் தயாரிப்பு நிலைத்தன்மையின் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது.

சீனாவின் முன்னணி CVD TaC Coating Crucible உற்பத்தியாளர் மற்றும் தலைவராக, VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப சேவைகளை வழங்க முடியும். சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு：

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்：

VeTek செமிகண்டக்டர் CVD TaC பூச்சு குரூசிபிள் கடைகள்: