டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவு

VeTek செமிகண்டக்டரின் முக்கிய செயல்பாடுடான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுஆதரவு மேம்படுத்த வேண்டும்வெப்ப எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புசெயல்பாட்டின் துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தவும், கூறுகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கவும், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஒரு அடுக்கை பூசுவதன் மூலம் அடி மூலக்கூறு. இது குறைக்கடத்தி செயலாக்கத் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் உயர் செயல்திறன் பூச்சு தயாரிப்பு ஆகும்.

VeTek செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவானது, வைரத்திற்கு அடுத்தபடியாக, கிட்டத்தட்ட 9~10 என்ற மோஸ் கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இது மிகவும் வலுவான உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் செயலாக்கத்தின் போது மேற்பரப்பு தேய்மானம் மற்றும் தாக்கத்தை திறம்பட எதிர்க்கும், இதன் மூலம் உபகரண கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கையை திறம்பட நீட்டிக்கிறது. 3880 டிகிரி செல்சியஸ் உயர் உருகுநிலையுடன் இணைந்து, இது பெரும்பாலும் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகளை பூசுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, அதாவது ஆதரவு கட்டமைப்புகளின் மேற்பரப்பு பூச்சுகள், வெப்ப சிகிச்சை உபகரணங்கள், அறைகள் அல்லது குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் கேஸ்கட்கள் அதன் உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்பநிலையை அதிகரிக்க எதிர்ப்பு.

டான்டலம் கார்பைடின் மிக உயர்ந்த உருகுநிலையின் காரணமாக, சுமார் 3880°C, குறைக்கடத்தி செயலாக்க செயல்முறைகளில்இரசாயன நீராவி படிவு (CVD)மற்றும்உடல் நீராவி படிவு (PVD), வலுவான உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்புடன் கூடிய TaC பூச்சு, உபகரணக் கூறுகளை திறம்பட பாதுகாக்கும் மற்றும் தீவிர சூழல்களில் அடி மூலக்கூறுக்கு அரிப்பு அல்லது சேதத்தை தடுக்கிறது, செதில் உற்பத்தியில் அதிக வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு பயனுள்ள பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. இந்த அம்சம் VeTek செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவு பெரும்பாலும் பொறித்தல் மற்றும் அரிக்கும் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது என்பதையும் தீர்மானிக்கிறது.

டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவு துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கும் செயல்பாட்டையும் கொண்டுள்ளது. செதில் செயலாக்கத்தின் போது, ​​மேற்பரப்பு தேய்மானம் பொதுவாக துகள் மாசுபாட்டை உருவாக்குகிறது, இது செதில்களின் தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கிறது. 9-10 Mohs கடினத்தன்மை கொண்ட TaC கோட்டிங்கின் தீவிர தயாரிப்பு பண்புகள் இந்த தேய்மானத்தை திறம்பட குறைக்கலாம், இதனால் துகள்களின் உருவாக்கம் குறைகிறது. TaC கோட்டிங்கின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனுடன் (சுமார் 21 W/m·K) இணைந்து, அதிக வெப்பநிலை நிலைகளின் கீழ் நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறனை பராமரிக்க முடியும், இதன் மூலம் செதில் உற்பத்தியின் மகசூல் மற்றும் நிலைத்தன்மையை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் முக்கிய TaC பூச்சு தயாரிப்புகளில் அடங்கும்TaC பூச்சு ஹீட்டர், CVD TaC பூச்சு சிலுவை, TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர்மற்றும்TaC பூச்சு உதிரி பாகம்முதலியன மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளை ஆதரிக்கவும். VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கு சிறந்த தயாரிப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாறுவோம் என்று நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு:

CVD TaC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்：