TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் TaC பூச்சு சுழற்சி சசெப்டர் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் செதில் கையாளுதலுக்கான ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன்TaC கோஎங்கள்சிறந்த உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை (3880 ° C வரை உருகும் புள்ளி), இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, இது செதில் செயலாக்கத்தில் உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர் (டாண்டலம் கார்பன் பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர்) என்பது குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய உபகரண கூறு ஆகும். இது பொதுவாக நிறுவப்பட்டுள்ளதுஇரசாயன நீராவி படிவு (CVD)மற்றும் மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி (MBE) உபகரணங்கள் சீரான பொருள் படிவு மற்றும் திறமையான எதிர்வினை உறுதி செய்ய செதில்களை ஆதரிக்க மற்றும் சுழற்ற. இந்த வகை தயாரிப்பு, அடி மூலக்கூறை பூசுவதன் மூலம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் உபகரணங்களின் சேவை வாழ்க்கை மற்றும் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.டான்டலம் கார்பன் (TaC) பூச்சு.

TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்பெப்டர் பொதுவாக TaC பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறு பொருளாக உருவாக்கப்படுகிறது. TaC என்பது மிக அதிக உருகுநிலை (3880°C வரை உருகும் புள்ளி), கடினத்தன்மை (விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை சுமார் 2000 HK) மற்றும் சிறந்த இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்புடன் கூடிய அதி-உயர் வெப்பநிலை பீங்கான் பொருளாகும். VeTek செமிகண்டக்டர் CVD தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் அடி மூலக்கூறு பொருளில் உள்ள டான்டலம் கார்பன் பூச்சுகளை திறம்பட மற்றும் சமமாக மறைக்க முடியும்.

சுழற்சி சசெப்டர் பொதுவாக அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் அதிக வலிமை கொண்ட பொருட்களால் ஆனது (கிராஃபைட் அல்லதுசிலிக்கான் கார்பைடு), இது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களில் நல்ல இயந்திர ஆதரவு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்க முடியும். இரண்டின் சரியான கலவையானது செதில்களை ஆதரிப்பதிலும் சுழற்றுவதிலும் TaC கோட்டிங் ரொட்டேஷன் சஸ்செப்டரின் சரியான செயல்திறனை தீர்மானிக்கிறது.

TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்பெப்டர் CVD செயல்பாட்டில் செதில்களை ஆதரிக்கிறது மற்றும் சுழற்றுகிறது. TaC இன் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை சுமார் 2000 HK ஆகும், இது பொருளின் தொடர்ச்சியான உராய்வை எதிர்க்கவும் நல்ல துணைப் பாத்திரத்தை வகிக்கவும் உதவுகிறது, இதன் மூலம் எதிர்வினை வாயு செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக விநியோகிக்கப்படுவதையும் பொருள் சமமாக டெபாசிட் செய்யப்படுவதையும் உறுதி செய்கிறது. அதே நேரத்தில், TaC பூச்சுகளின் உயர் வெப்பநிலை சகிப்புத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வளிமண்டலங்களில் நீண்ட நேரம் பயன்படுத்த உதவுகிறது, இது செதில் மற்றும் கேரியரின் மாசுபாட்டை திறம்பட தவிர்க்கிறது.

மேலும், TaC இன் வெப்ப கடத்துத்திறன் 21 W/m·K ஆகும், இது நல்ல வெப்ப பரிமாற்றத்தைக் கொண்டுள்ளது. எனவே, TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர் அதிக வெப்பநிலை நிலைகளின் கீழ் செதில்களை சமமாக சூடாக்க முடியும் மற்றும் சுழற்சி இயக்கத்தின் மூலம் வாயு படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மையை உறுதிசெய்து, அதன் நிலைத்தன்மையையும் உயர் தரத்தையும் பராமரிக்கிறது.செதில் வளர்ச்சி.

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு：

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்：

TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர் கடைகள்: