டான்டலம் கார்பைடு வழிகாட்டி வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டர்டான்டலம் கார்பைடு கையேடு ரின்gஇருந்து வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளதுகிராஃபைட்மற்றும்டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்டது, சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதிப்படுத்த இரண்டு பொருட்களின் சிறந்த பண்புகளை மேம்படுத்தும் கலவையாகும்.

திTaC பூச்சுடான்டலம் கார்பைடு கையேடு வளையமானது SiC படிக வளர்ச்சி உலைகளின் எதிர்வினை வளிமண்டலத்தில் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றதாக இருப்பதை உறுதி செய்கிறது, இதில் பெரும்பாலும் ஹைட்ரஜன், ஆர்கான் மற்றும் நைட்ரஜன் போன்ற வாயுக்கள் அடங்கும். இந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மை, வளர்ந்து வரும் படிகத்தின் எந்த மாசுபாட்டையும் தடுக்க மிகவும் முக்கியமானது, இது குறைபாடுகள் மற்றும் இறுதி குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளின் செயல்திறன் குறைவதற்கு வழிவகுக்கும். கூடுதலாக, TaC பூச்சு வழங்கிய வெப்ப நிலைத்தன்மை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தை தேவையான அதிக வெப்பநிலையில் திறம்பட செயல்பட அனுமதிக்கிறது.SiC படிக வளர்ச்சி, பொதுவாக 2000°Cக்கு மேல் இருக்கும்.

கூடுதலாக, டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தில் உள்ள கிராஃபைட் மற்றும் TaC ஆகியவற்றின் கலவையானது படிக வளர்ச்சி உலைக்குள் வெப்ப மேலாண்மையை மேம்படுத்துகிறது. கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பத்தை திறமையாக விநியோகிக்கிறது, ஹாட்ஸ்பாட்களைத் தடுக்கிறது மற்றும் சீரான படிக வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கிறது. இதற்கிடையில், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஒரு வெப்பத் தடையாக செயல்படுகிறது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களின் நேரடி வெளிப்பாட்டிலிருந்து கிராஃபைட் மையத்தை பாதுகாக்கிறது. கோர் மற்றும் பூச்சுப் பொருட்களுக்கு இடையேயான இந்த சினெர்ஜி ஒரு வழிகாட்டி வளையத்தை உருவாக்குகிறது, இது SiC படிக வளர்ச்சியின் கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்குவது மட்டுமல்லாமல், செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைட்டின் இயந்திர பண்புகள், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையத்தில் தேய்மானம் மற்றும் கிழிவை வெகுவாகக் குறைக்கின்றன. மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மை காரணமாக இது முக்கியமானதுபடிக வளர்ச்சி செயல்முறை, இது வழிகாட்டி வளையத்தை அடிக்கடி வெப்ப சுழற்சிகள் மற்றும் இயந்திர அழுத்தங்களுக்கு வெளிப்படுத்துகிறது. டான்டலம் கார்பைட்டின் கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு ஆகியவை வழிகாட்டி வளையம் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் துல்லியமான பரிமாணங்களை நீண்ட காலத்திற்கு பராமரிக்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கையேடு வளையம் என்பது குறைக்கடத்தி துறையில் ஒரு இன்றியமையாத அங்கமாகும், இது குறிப்பாக வளர்ச்சிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்கள். அதன் வடிவமைப்பு, கிராஃபைட் மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு ஆகியவற்றின் பலத்தை அதிக வெப்பநிலை, அதிக அழுத்த சூழல்களில் விதிவிலக்கான செயல்திறனை வழங்க பயன்படுத்துகிறது. TaC பூச்சு இரசாயன செயலற்ற தன்மை, இயந்திர ஆயுள் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது, இவை அனைத்தும் உயர்தர SiC படிகங்களை உருவாக்குவதற்கு முக்கியமானவை. தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் அதன் ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்பாட்டை பராமரிப்பதன் மூலம், வழிகாட்டி வளையம் SiC படிகங்களின் திறமையான மற்றும் குறைபாடு இல்லாத வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது, இது உயர் சக்தி மற்றும் உயர் அதிர்வெண் கொண்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் முன்னேற்றத்திற்கு பங்களிக்கிறது.

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு:

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்: