டான்டலம் கார்பைடு வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) வளையமானது உயர்தர கிராஃபைட்டை மையப் பொருளாகப் பயன்படுத்துகிறது மற்றும் அதன் தனித்துவமான கட்டமைப்பிற்கு நன்றி, ஒரு படிக வளர்ச்சி உலையின் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் அதன் வடிவத்தையும் இயந்திர பண்புகளையும் பராமரிக்க முடிகிறது. கிராஃபைட்டின் அதிக வெப்ப எதிர்ப்பானது முழுவதும் சிறந்த நிலைத்தன்மையை அளிக்கிறதுபடிக வளர்ச்சி செயல்முறை.

TaC வளையத்தின் வெளிப்புற அடுக்கு a உடன் மூடப்பட்டிருக்கும்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு, மிக அதிக கடினத்தன்மை, 3880°Cக்கு மேல் உருகும் புள்ளி மற்றும் இரசாயன அரிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பு ஆகியவற்றால் அறியப்பட்ட ஒரு பொருள், இது அதிக வெப்பநிலை இயக்க சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வன்முறை இரசாயன எதிர்வினைகளை திறம்பட தடுக்க ஒரு வலுவான தடையை வழங்குகிறது மற்றும் கிராஃபைட் கோர் அதிக வெப்பநிலை உலை வாயுக்களால் துருப்பிடிக்காமல் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

போதுசிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) படிக வளர்ச்சி, நிலையான மற்றும் சீரான வளர்ச்சி நிலைகள் உயர்தர படிகங்களை உறுதி செய்வதற்கு முக்கியமாகும். டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு வளையம் வாயு ஓட்டத்தை ஒழுங்குபடுத்துவதிலும், உலைக்குள் வெப்பநிலை விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதிலும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. ஒரு வாயு வழிகாட்டி வளையமாக, TaC ரிங் வெப்ப ஆற்றல் மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, SiC படிகங்களின் சீரான வளர்ச்சி மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

கூடுதலாக, கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட பாதுகாப்பு விளைவுடன் இணைந்து, SiC படிக வளர்ச்சிக்குத் தேவையான உயர் வெப்பநிலை சூழலில் TaC வழிகாட்டி வளையத்தை நிலையாக இயங்கச் செய்கிறது. அதன் கட்டமைப்பு வலிமை மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை ஆகியவை உலைகளில் உள்ள நிலைமைகளை பராமரிக்க முக்கியம், இது உற்பத்தி செய்யப்படும் படிகங்களின் தரத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. உலைக்குள் வெப்ப ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் இரசாயன எதிர்வினைகளைக் குறைப்பதன் மூலம், உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த மின்னணு பண்புகளுடன் படிகங்களை உருவாக்க TaC பூச்சு வளையம் உதவுகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் டான்டலம் கார்பைடு வளையம் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சி உலைகள்மற்றும் அதன் சிறந்த ஆயுள், வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு ஆகியவற்றிற்காக தனித்து நிற்கிறது. கிராஃபைட் கோர் மற்றும் TaC பூச்சு ஆகியவற்றின் தனித்துவமான கலவையானது கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்பாட்டை பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது. உலைக்குள் வெப்பநிலை மற்றும் வாயு ஓட்டத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், TaC பூச்சு வளையமானது உயர்தர SiC படிகங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு தேவையான நிபந்தனைகளை வழங்குகிறது, அவை அதிநவீன குறைக்கடத்தி கூறு உற்பத்திக்கு முக்கியமானவை.

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு：